文档介绍：aNergy毳密率間暗训敬资料整理:、洁净室人员管理1、净室分类(形式)洁净室最主要的污染源中洁净室设计基础发尘源及量气流组织型式及换气次数>人的污染-发菌量测网过滤流程2、洁净室人员管理规定递风量及FFU数量计算解网寿命湿度控制ANergy洁净室之定义事争空(Cleanr0om,也称为无尘室●洁净室是指能将一定空间范围内之空气中的悬浮微粒、●细菌等污染物排除,并将室內之温湿度、洁净度、压力、◆气流速度及静电等影响生产之环境因素控制在某一设计需求范围内,而给予特别设计的房间。亦即不论外面空气条件如何变化。其室内均能具有维持所设定的洁净度、温湿度及压力等生产所环境因素性能的特性●因此,洁净室是保证诸如医荺、半导体、太阳能电池●板等对环境要求较高之行业进行批量生产所必备之条件要gy二根关术语悬浮微粒:一般指悬浮于空气中的固态和液恋微粒,其粒径尺寸范约在●。洁净度:用以表征单位体积空间内空气中所含做粒大小及数量的多少,是区●分空间洁净程度的标准。气闸室:设置在洁净室出入口,阻隔室外或邻室污染气流和压差控制而设置的缓冲间。风淋室:气闸室的一种,通过安裝风机、过滤网及控制系统等对入室人员进a行周身吹扫通道,它是减少外来污染的有效途径之洁净工作服:为把工作人员产生的粒子限制在最小程度所使用的发尘量少的洁净服装。高效空气过滤器HPA:在风量下,%以上及气流阻力在250Pa以下的空气过滤器。超高效空气过滤器:在额定风量下,%以上及气流阻力在280Pa以下的密气过滤器。ANergy猫睁度等级标准小准GB50073-(pc/m3)C.=10~×cn是以四舍五入至相近的整数,有效位数不超过三位数N一洁净度等级,数字不超出9,—常数,其量纲为umaNergy乘邦标准(USAFederalStandard)209E(1992年)净度级另粒径(um):尘埃效13=。对照我国标准及美国标准可以看出,我国的3级标准与美国的1级标相当。从而可以看出随着半导体行业从um量级向nm量级发展的过程洁净室等级要求也越来越高。但目前半导体行业中普遍采用的均为千级(6级)或万级(7级),有局部区域的高自动化作业才要求百级(5级)(5um))(按形式)流式空气由空调箱经风管与洁净室内之空气过滤器(HEPA)进入洁净室,并由洁净室两侧隔间墙板或高架地板回风。气流非直线型运动而呈不规则之乱流或涡流状态。此型式适用于洁净室等级100000,000级优点:构造简单、系统建造成本低,洁净室扩充比较容易缺点:乱流造成的微尘粒子于室内空间卡单方向流方飘浮不易排出,易污染制程产品。另外若系统停止运转再激活,欲需达到设定要求之洁净度,往往须耗时相当长一段时间。Haklcfilt洁净等级ANergyQ90-100,000级gnencyairtilterChangelareaCleanroomProductionPass-