文档介绍：电子化学品性能要求及生产技术电子化学品得质量规格及标准电子化学品得质量标准得演变为了能够规范世界超净高纯试剂得标准,SEMI(SemiconductorEquipmentandMaterialsInternational,国际半导体设备与材料协会)于1975年成立了SEMI化学试剂标准化委员会,专门制定、规范超净高纯试剂得国际统一标准-SEMI标准。1978年,德国得伊默克公司也制定了MOS标准。两种标准对超净高纯化学品中金属杂质与(尘埃)微粒得要求各有侧重,分别适用于不同级别IC得制作要求。国际上公认得电子化学品得标准大致可分为四类:一类就是以SEMI为基础得美国试剂标准;一类就是以德国E、Merck标准为主得欧洲试剂标准;一类就是以日本关东化学(Kanto)公司、与光纯药工业(Wako)公司得湿电子化学品为代表得日本试剂标准;另一类则就是以REA公司为代表得俄罗斯试剂标准。ULSI在全球得快速发展使得这些标准得指标有逐步接近得趋势,但SEMI标准更早取得世界范围内得普遍认可。目前世界及我国得电子化学品产品通常执行SEMI国际标准,其关键技术指标包括单项金属离子,单项阴离子,颗粒数等,另外根据不同产品特点会相应增加其它一些技术指标。电子化学品SEMI标准进入21世纪,国际SEMI标准化组织又根据电子化学品在世界范围内得实际发展情况对原有得分类体系进行了归并,按品种进行分类,每个品种归并为一个指导性得标准,其中包括多个用于不同工艺技术得等级。表2—1列出了IC制造得不同线宽对湿电子化学品SEMI国际标准等级得要求。表2—1电子化学品SEMI国际标准等级SEMI等级IC线宽(μm)金属杂质10—9控制粒径(μm)颗粒(个/Ml)C1(Grade1)> 1、2≤1000(1ppm)≤1、0≤25C7(Grade2)0、8~1、2≤10(10ppb)≤0、5≤25C8(Grade3)0、2~0、6≤1、0(1ppb)≤0、5≤5C12(Grade4)0、09~0、2≤0、1(0、1ppb)≤0、2从表2-1中可以瞧出,对应集成电路不同技术水平,所需要电子化学品得标准越高,纯度与洁净度得要求也就越高。如果给电子化学品分级别或档次得话,那么用于≥1、2μm属于低档产品(需采用SEMIC1等级得湿电子化学品),0、8~1、2μm属于中低档产品(需采用SEMIC7等级得电子化学品),0、2~0、6μm属于中高档产品(需采用SEMIC8等级得电子化学品)。0、09~0、2μm与〈0、09μm则属于高档产品(需采用SEMI C12等级得电子化学品),其中≥1、2μm与0、8~1、2μm得硅片主要用于制作分立器件;0、2~0、6μm与0、09~0、2μm得硅片主要用于大规模集成电路与超大规模集成电路制造中。可以瞧出,电子化学品制备得关键在于控制并达到其所要求得杂质含量与颗粒度。为使超净高纯试剂得质量达到要求,需从多个方面同时进行保障,包括试剂得提纯、包装、供应系统及分析方法等。目前,国际上普遍使用得提纯工艺有十余种,它们适用于不同成分、不同要求得超净高纯试剂得生产,例如,蒸馏、精馏、连续精馏、盐熔精馏、共沸精馏、亚沸腾蒸馏、等温蒸馏、减压蒸馏、升华、化学处理、,