文档介绍：洁净区环境检测规程
目的
规定洁净区的控制指标和检测方法，有效的控制洁净车间和实验室洁净区环境的洁净度，满足生产和检测环境的要求。
范围
本规程适用本公司洁净区环境的洁净度检验。
职责
化验员负责洁净环境检测各项技术要求的检验。

检验项目
温度、湿度、压差、风速（换气次数）、尘埃粒子数、菌落数。
温度、湿度
要求
洁净区温度（18-28）C,相对湿度（45-65） %
仪器与设备
温湿度计
温湿度计必须在检定合格周期内
操作方法
目测温湿度计
测定频次
1 次 / 班
压差
要求
洁净室与室外压差》10Pa,洁净室与非洁净室》5Pa,不同级别洁净室之间》 5Pa。
仪器与设备
微压计微压差计或手持式数显压差计须在检定合格周期内。
操作方法用微压计或数显压差计测试各室的静压力，由两室静压力之差，为静压差。
测定频次

441要求如表1所示：
表1各级别洁净区风速的技术指标
级别
100级
10000 级
100000 级
300000 级
风速
水平层流
>
m/s
垂直层流
>
换气次数
> 25
> 15
> 12
次/h

风速计
风速计必须在检定合格周期内。

25cm处测量风速，采样点为风口的四个顶角及中心位置(不少于 5点)。计算5个点风速平均值，为一个风口的风速。
：
.Z〔高效送虬口风速X髙效送町口面枳〉
换气疵= 硕硕枳
：
1次/月

：
表2各级别洁净区尘埃粒子数的技术指标
级别
100级
10000 级
100000 级
300000 级
尘埃数
>
w 3500
w 350000
w 3500000
w10500000
粒/m3
> i m
0
w 2000
w 20000
w 60000

尘埃粒子计数器

（2）最少采样点数目的确定如 3表所示: 表3:最少采样点数目
面积
m2
洁净度级别
100级
10000 级
100000 级
300000级
V 10
2〜3
2
2
2
> 10 〜V 20
4
2
2
2
> 20 〜V 40
8
2
2
2
> 40 〜V 100
16
4
2
2
> 100 〜V 200
40
10
3
3
> 200 〜V 400
80
20
6
6
> 400 〜V 1000
160
40
13
13
> 1000 〜V 2000
400
100
32
32
> 2000
800
200
63
63
注：对于100级的单向流洁净室（区），包括100级洁净工作台，面积指的是送风口表面积; 对于10000级以上的单向流洁净室（区），面积知道是房间面积。
（3）采样点的位置
采样点一般在离地面。
采样点多余5点事，也可以在离地面，但每层不少于 5
点。
采样点分布见附录 A
（4 ）采样次数的限定
对任何小洁净室（区）或局部空气净化区域，采样点的数目不得小于 2个，总采样次数不得
少于5次。每个采样点的采样次数可以多余一次，且不同采样点的采样次数可以不同。
（5）采样量
不同洁净度级别每次最小采样量见表 4
表4最小采样量
最小采样量
L/次
洁净度级别
100级
10000 级
100000 级
300000级
>

>

（6）采样注意事项
对于单向流洁净室（区），粒子计数器的采样管口应正对气流方向；对于非单向流洁净室（区）,
粒子计数器的采样管口宜朝上。
布置采样点是应尽量避开风口。
采样时，测试人员应在采样口的下风侧，并尽量少活动。
采样完毕后，宜对粒子计数器进行自净。
应采取一切措施防止采样过程的污染。

（1）采样点的平均悬浮粒子浓度 A
采样点的平均悬浮粒子浓度 A的计算公式：
n
&
L4 =
YL
式中：
A —某一采样点的平均粒子浓度，粒每立方米（粒 /m3）
Ci—