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洁净区环境监测规程.doc

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洁净区环境监测规程.doc

上传人:282975922 2020/4/15 文件大小:74 KB

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洁净区环境监测规程.doc

文档介绍

文档介绍:.洁净区环境检测规程1目的规定洁净区的控制指标和检测方法,有效的控制洁净车间和实验室洁净区环境的洁净度,满足生产和检测环境的要求。2范围本规程适用本公司洁净区环境的洁净度检验。3职责化验员负责洁净环境检测各项技术要求的检验。、湿度、压差、风速(换气次数)、尘埃粒子数、菌落数。、(18-28)℃,相对湿度(45-65)%.≥10Pa,洁净室与非洁净室≥5Pa,不同级别洁净室之间≥5Pa。。,由两室静压力之差,为静压差。/:表1各级别洁净区风速的技术指标级别100级10000级100000级300000级风速m/≥——————≥换气次数/h次——25≥≥1512≥。,采样点为风口的四个顶角及中心位置()。计算5个点风速平均值,为一个风口的风速。::1次/:表2各级别洁净区尘埃粒子数的技术指标级别100级10000级100000级300000级尘埃数粒/≥≤3500≤350000≤3500000≤10500000m≥≤200020000≤≤(1),总采样次数不少于5次。(2)最少采样点数目的确定如3表所示:表3:最少采样点数目面积m2洁净度级别100级10000级100000级300000级10<3~~<20≥4222≥20~<408222100~<≥4016422≥100~<200401033~<≥2004008020661000400~<≥160401313<1000~≥20004001003232≥20008002006363面积指的是送风口表面积;100级洁净工作台,(区),包括级的单向流洁净室注:对于100,面积知道是房间面积。10000对于级以上的单向流洁净室(区))采样点的位置(3高度的水平面上均匀布置。,但每层不少于至采样点多余5点事,。A采样点分布见附录)采样次数的限定(4个,总采样次数不2对任何小洁净室(区)或局部空气净化区域,采样点的数目不得小于5得少于次。每个采样点的采样次数可以多余一次,且不同采样点的采样次数可以不同。)采样量5(≥≥)采样注意事项(6,对于非单向流洁净室(区)粒子计数器的采样管口应正对气流方向;对于单向流洁净室(区),粒子计数器的采样管口宜朝上。布置采样点是应尽量避开风口。采样时,测试人员应在采样口的下风侧,并尽量少活动。采样完毕后,宜对粒子计数器进行自净。应采取一切措施防止采样过程的污染。)采样点的平均悬浮粒子浓度(1的计算公式:采样点的平均悬浮粒子浓度A式中:)3/mA—某一采样点的平均粒子浓度,粒每立方米(粒),粒每立方米(粒/m,…,—C某一采样点的粒子浓度(i=1,2,3n)3i—某一采样点的采样次数,次nM)平均值的均值(2的计算公式::)3/m—平均值的均值,即洁净室(区)的平均粒子浓度,粒每平方米(粒M)),粒每平方米(粒/mi=1,2,3A—某一采样点的平均粒子浓度(,…,n3i某一洁净室(区)内的总采样点数,个L—SE)标准差(3的计算公式:标准差SE式中:)3/mSE—平均值均值的标准误差,粒每平方米(粒UCL)4()95%置信上限(UCL)计算公式:95%置信上限()3/m%置信上限,粒每平方米(粒95UCL—平均值均值的5分布系数,见表%置信上限的t95t—采样点L数234567899>——UCL时,不需要计算注:当采样