文档介绍：洁净区环境监测规程
洁净区环境检测规程
1目的
规定洁净区的控制指标和检测方法,有效的控制洁净车间和实验室洁净区环境的洁净度,满足生产和检测环境的要求。
2范围
本规程适用本公司洁净区环境的洁净度检验。
3职责
化验员负责洁净环境检测各项技术要求的检验。
温度、湿度、压差、风速(换气次数)、尘埃粒子数、菌落数。
、湿度
洁净区温度(18-28)℃,相对湿度(45-65)%
温湿度计
温湿度计必须在检定合格周期内
目测温湿度计
1次/班
洁净室与室外压差≥10Pa,洁净室与非洁净室≥5Pa,不同级别洁净室之间≥5Pa。
微压计
微压差计或手持式数显压差计须在检定合格周期内。
用微压计或数显压差计测试各室的静压力,由两室静压力之差,为静压差。
1次/月
:
表1各级别洁净区风速的技术指标
风速计必须在检定合格周期内。
,采样点为风口的四个顶角及中心位置(不少于5点)。计算5个点风速平均值,为一个风口的风速。 :
换气次数=
: 1次/
月 :
表2各级别洁净区尘埃粒子数的技术指标∑(高效送风口风速×高效送风口面积)
被测房间体积
(1),总采样次数不少于5次。(2)最少采样点数目的确定如3表所示: 表3:最少采样点数目
(3)采样点的位置
。
采样点多余5点事,,但每层不少于5点。
采样点分布见附录A (4)采样次数的限定
对任何小洁净室(区)或局部空气净化区域,采样点的数目不得小于2个,总采样次数不得少于5次。每个采样点的采样次数可以多余一次,且不同采样点的采样次数可以不同。(5)采样量
不同洁净度级别每次最小采样量见表4 表4最小采样量
(6)采样注意事项
对于单向流洁净室(区),粒子计数器的采样管口应正对气流方向;对于非单向流洁净室(区),粒子计数器的采样管口宜朝上。
布置采样点是应尽量避开风口。
采样时,测试人员应在采样口的下风侧,并尽量少活动。
采样完毕后,宜对粒子计数器进行自净。
应采取一切措施防止采样过程的污染。
(1)采样点的平均悬浮粒子浓度A
采样点的平均悬浮粒子浓度A的计算公式:
∑????=1????A= 式中:
A—某一采样点的平均粒子浓度,粒每立方米(粒/m3)
Ci—某一采样点的粒子浓度(i=1,2,3,…,n),粒每立方米(粒/m3)
n—某一采样点的采样次数,次
(2)平均值的均值M
平均值的均值M的计算公式:
∑????=1????M=式中:
M—平均值的均值,即洁净室(区)的平均粒子浓度,粒每平方米(粒/m3)
Ai—某一采样点的平均粒子浓度(i=1,2,3,…,n),粒每平方米(粒/m3)
L—某一洁净室(区)内的总采样点数,个
(3)标准差SE
标准差SE的计算公式:
SE= (A1?M)+(A2?M)+(A3?M)+?+(A???M)
??(L?1)2222
式中:
SE—平均值均值的标准误差,粒每平方米(粒/m3)
(4)95%置信上限(UCL)
95%置信上限(UCL)计算公式:
UCL=M+t×SE
UCL—平均值均值的95%置信上限,粒每平方米(粒/m3)
t—95%置信上限的t分布系数,见表5
判断悬浮粒子的洁净度级别应同时满足以下两个条件
(1) 每个采样点的平均悬浮粒子浓度必须不大于规定的级别界限,即Ai≤级别极限;
(2) 全部采样点的悬浮粒子浓度平均值均值的95%置信上限必须不大于规定的级别
极限,即UCL≤级别界限。
1次/月
(1)判定标准如表6所示
(2)最少采样点数目
最少采样点数目见表3
(