文档介绍：第九章扫描电子显微镜
Light vs Electron Microscope
扫描电子显微镜（Scanning Electron Microscope，简称SEM）是继透射电镜之后发展起来的一种电子显微镜。
扫描电子显微镜是以类似电视摄影的方式，利用细聚焦电子束在样品表面扫描时激发出来的各种物理信号来调制成像的。
扫描电镜能完成：
表(界)面形貌分析；
配置各种附件，做表面成分分析及表层晶体学位向分析等。
概述
SEM
1 扫描电镜的特点和工作原理
特点
仪器分辨本领较高。(场发射),(钨灯丝)；
仪器放大倍数变化范围大（从几倍到几十万倍），且连续可调；
图像景深大，富有立体感。可直接观察起伏较大的粗糙表面（如金属和陶瓷的断口等）；
试样制备简单。只要将块状或粉末的、导电的或不导电的试样不加处理或稍加处理，就可直接放到SEM中进行观察。一般来说，比透射电子显微镜（TEM）的制样简单，且可使图像更近于试样的真实状态；
特点
可做综合分析。
SEM装上波长色散X射线谱仪（WDX）（简称波谱仪）或能量色散X射线谱仪（EDX）（简称能谱仪）后，在观察扫描形貌图像的同时，可对试样微区进行元素分析。
装上不同类型的试样台和检测器可以直接观察处于不同环境（加热、冷却、拉伸等）中的试样显微结构形态的动态变化过程（动态观察）。
工作原理
扫描电子显微镜结构原理框图
扫描电镜的成像原理，不是用电磁透镜放大成像，而是逐点逐行扫描成像。
由电子枪发射出来的电子束，在加速电压作用下，经过2-3个电磁透镜聚焦后，会聚成一个细的电子束。在末级透镜上边装有扫描线圈，在它的作用下电子束在样品表面按顺序逐行进行扫描。
高能电子束与样品物质的交互作用,激发样品产生各种物理信号，如二次电子、背散射电子、吸收电子、X射线、俄歇电子和透射电子等。其强度随样品表面特征而变化。
这些物理信号分别被相应的收集器接受，经放大器按顺序、成比例地放大后,送到显像管,调制显像管的亮度。