文档介绍：彳习慧春独创性声明篺年占月本人郑重声明:所呈交的学位论文,是本人在导师的指导下,独立进行研究工作所取得的成果。除文中已注明引用的内容以外,本论文不包含任何其他个人或集体已经发表或撰写过的作品成果,也不包含为获得江苏大学或其他教育机构的学位或证书而使用过的材料。对本文的研究做出重要贡献的个人和集体,均已在文中以明确方式标明。本人完全意识到本声明的法律结果由本人承担。学位论文作者签名:
裕,::,.《女,●§自。,..
/㈣删簗『『㈣朋Ⅵ“年指导教师签名卅兽话历学位论文作者签名:彳耳≯.森爸’学位论文版权使用授权书沙年月本学位论文属于不保密面。江苏大学、中国科学技术信息研究所、国家图书碹、中国学术期刊馀贪电子杂志社有权保留本人所送交学位论文的复印件和电子文档,可以采用影印、缩印或其他复制手段保存论文。本人电子文档的内容和纸质论文的内容相一致,允许论文被查阅和借阅,同时授权中国科学技术信息研究所将本论文编入《中国学位论文全文数据库》并向社会提供查询,授权中国学术期刊馀贪电子杂志社将本论文编入《中国优秀博硕士学位论文全文数据库》并向社会提供查询。论文的公布ǹ授权江苏大学研究生处办理。
一‘:
微纳机构粘着接触分析及防粘附研究畁..江苏大学
‘
要摘江苏大学硕士学位论文本文用数值模拟的方法研究了微纳机构粘着接触及基于热应力的粘附修复技术,为微纳米器件的设计提供参考。首先,介绍了粘着接触的研究方法:分子动力学方法、连续介质的研究方法、⒐哿橹世砺鄯椒ê陀邢拊7椒āT诖秤邢拊=哟ツP偷幕∩霞入表面力边界条件,得到粘着接触有限元模型。其次,结合连续介质理论方法,建立了粘着接触物理模型并利用砑建立粘着接触有限元模型。对比弹性粘着接触模型与P停哒掣搅τ氲性压缩量关系曲线趋势较为一致,证明了弹性粘着接触有限元模型的可行性。将和两种材料的弹塑性粘着接触模型与模型进行对比分析,发现有限元模型与模型的无量纲接触半径与无量纲压缩量及无量纲接触力与无量纲压缩量曲线趋势较为一致,证明了弹塑性粘着接触有限元模型的可行性。对比分析了接触球半径分别为和钡奈蘖扛俳哟グ刖队胛蘖扛傺顾趿考拔蘖扛俳触力与无量纲压缩量间的关系,表明:半径较小的接触球需要较小的分离力,更不容易发生粘附。,表明:塑性参数值越大,粘着接触时,更易由于塑性分离而发生材料转移。再次,对目前常用的防粘附方法进行了系统的归纳总结。释放粘附通过超临界干燥方法和无水气相刻蚀技术得到了很好的控制,工作粘附的控制可以通过防止微纳机构间物理接触或减小粘附力来实现。接着介绍了几种微纳米器件粘附后的修复技术,用以解决由静电力、加速度和冲击等引起的粘附。最后,用数值模拟的方法研究了微梁基于热应力的粘附失效修复技术,双层微梁模型在静电力的作用下发生弯曲,通过对微梁固定端电阻加热载荷,微梁温度升高产生热应力,弯曲梁在热应力作用下自身回复力增加,实现了与基底间的脱粘附。讨论了温度载荷对修复粘附的影响,仿真发现相同尺寸的微悬臂梁较两端固支微梁实现粘附修复需要较小的热载荷。关键词:微纳机构,粘着接触,有限元,热应力,防粘附
微纳机构粘着接触分析及防粘附研究¨
琀江苏大学硕士学位论文甌甒.,.—,瓹,,,瑆,—.琣琲
.微纳机构粘着接触分析及防粘附研究琭’:,.—琤猠,,.甤琣瑃甀猽甌..,