文档介绍：
S-
带旋转轴三座标定位扫描系统统统
动动精密丝杠转化化为直线位 2 个旋转轴θZ 1 与θZ 2 可分
移,并且由增量编码器进别独立工作。用于满足不
行电机位置闭环。
同精度要求下的测试工

作。
Z 轴定位平台使用高分辨
率步进电机驱动动,并且使开放的控制制器接口
用具有微米测量分辨
率的线性光栅尺进行位置驱动动控制制器具有开放的控
闭环,保证了 Z 轴具有更制制接口和 I/O 端口等,可以
高的定位精度。
根据需要设计以连接标准
带旋转轴三座标定位扫描系统三维视图
S

PC 机、NI 控制制器、工控机、

稳定的机械结构嵌入式系统、PLC 等多种

不同主机。

线性光栅闭环定位
底部的 X 移动动台使用特殊
加加宽的滑块以及双导轨结针对不同领域的用户需

大尺寸
、、、高稳定性滑块及框架结构、高稳定性滑块及框架结构
构,保证了定位过程中具要,S
可以很方
底部双导轨设计

有更好的运动动直线度。
便的改造成不同组合方

双转轴设计满足不同测量精度要求
式、不同精度等级、多种
坚固的龙门框架可有效的行程范围、多种控制制方式
S
系统,是普爱整个系统主要由 XYZ 平动动承载 Y 轴、Z 轴以及其他的组合定位系统。
纳米位移技术(上海)有和 2 个绕 Z 轴旋转的机构组部件。
限公司按客户指标要求独成。
具体信息请咨询 PI 销售工
立设计的 3 维平动动及 2 维
重载型精密转动动台程师。
旋转的组合扫描系统,用 XYZ 平动动机构和装在 Z 轴上
于对样品进行精密的超声的旋转机构θZ 2 组合在一底部的旋转轴θZ 1 使用德
波扫描探测和分析。
起,用于控制制连接在旋转轴国 PI 公司的 M
重载
θZ 2 上的超声波传感器的位型精密转台,具有很高的
典型应用
置和角度。
承载能力力和定位精度,以

适应多种不同的待测样

三维测量
底部独立的旋转台θZ 1 用于品。

微型精密加加工
盛放被测物负载,可对负载
的角度做精密调节。
双旋转组合

测量测试

精密装配
精密平移台在 Z 轴上额外设置了一个
旋转轴θZ ,使用开环步进

工业自动动化化
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