文档介绍：⑧辏硕士学位论文论文题目:∟篖!篏9獠ǖ急∧さ闹票及其·陛质研究作者姓;指导教师姓名孥业技术;揖缎:睢忙代码:学:孥业王晓霞材料学王继扬教授分赏呼:母:。年騞
摘要占淙何狣若一痑。:蚇篏晶体均可用提拉法集成光学是上世纪年代以来发展起来的新兴科学,主要研究光波在透明薄膜材料中的传导、调制、偏转、滤波、空间辐射、光振荡、薄膜内强场聚集引起的各种现象以及与此有关的薄膜非线性效应等。集成光学的研究内容非常丰富,但是其根本的基础是光在薄膜中的传播,即光波导。对光信号的所有处理,都必须以光在薄膜中的能够传导为前提。光波导在整个集成光学中具有十分重要的作用。经典的光波导理论主要有两种,一种是线光学理论,这一理论以光的全反射原理为基础,即光在波导中传播时受到上下界面的全反射。光波在波导内沿中温径传播。据此推导出介质薄膜波导的色散方程,研究波导膜的传输性质、截止特性、传播常数等性质。这种方法简单、直观。另一种方法是电磁波理论,这一理论从绱挪ǚ匠坛龇ⅲü蠼饴阋欢ń橹时呓缣跫腗方程,得到波导中传导模的本征解。所有光波导的实验基础在于光波导薄膜及波导结构的制备。改进实验方法,优化实验条件是提高光波导薄膜质量的关键。脉冲激光沉积法是上世纪年代后期发展起来的一种新的制膜方法。该方法有许多引人注目的优点。如:易于使膜与靶材的成分基本一致、生长过程中能够原位引入的气体种类较多、容易制备多层膜或异质结、工艺简单、易于控制、灵活性大等,所以,在制备各种薄膜,特别是氧化物薄膜方面具有独特的优势。全固态激光器在科学研究、工业、医学、军事等许多方面有着十分重要的应用。激光晶体是全固体激光器的重要组成部分,与激光玻璃相比。他具有较低的振荡阈值,较容易实现连续运转。激光晶体波导膜是一个崭新的研究领域,探索性能优异的激光晶体波导膜正成为研究热点之一。钒酸盐晶体如:和:凶庞帕嫉挠ü夂图す庑灾剩谥行」率泵浦功率下,效率高于:濉S肔〈示逯械腨或,可以提高激光性能。:蚇篏晶体具有相同的结构,点群为痬ぁ8每翁庖哉饬街志逦0胁闹聘髁艘幌盗械墓獠ǖ急∧ぁ本文研究了:蚇篏光波导薄膜的生长结晶状况、表面形貌、山东大学硕士学位论文.
薄膜中的主要元素的比例以及发射光强度与有效折射率的关系,并对薄膜的光波导利用湎哐苌浞ǘ圆煌铡⒉煌牡孜露取⒉煌跗骨肯律さ谋∧さ根据背散射图谱对生长的薄膜中的主要元素的比例做了估算,发现薄膜的成分性能做了初步的探索。主要内容包括以下几方面:∧さ纳采用脉冲激光沉积法生长:蚇篏光波导薄膜,研究在不同衬底、不同气氛、不同衬底温度、不同氧气压强下对生长的薄膜的质量的影响。找出适宜薄膜生长的气氛、衬底温度、氧气压强等条件。峋ё刺难芯生长状态进行了分析,对薄膜的结晶状况、易于生长的方向进行了观察。对薄膜适宜生长的条件做了迸一步验证和分析。砻嫘蚊驳墓鄄’利用原子力显微镜对生长的薄膜的表面形貌进行了分析,发现表面较为光滑、均匀、无较大的颗粒物。可以用来作为光波导薄膜。成⑸浞治与靶材的成分基本一致,证明了脉冲激光沉积法生长薄膜的主要优势,并为今后制各要求组分薄膜的设计提供了依据。д凵渎实牟饬采用棱镜耦合法测量了可能形成的波导模及该模所对应的有效折射率。并对薄膜的光波导性能进行了初步探索和分析。关键词:脉冲激光沉积法光波导薄膜::牡孜露绕昭跹表面形貌有效折射率山东大学硕士学位论文
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论文作者签名:——论文作者签名:——导师签名:乏骿丕期:三胓关于学位论文使用授权的声明原创陨本人郑重声明:所呈交的学位论文,是本人在导,独立进行研究所取得的成果。除文中已经注明引用的内容外,本论文不究作出重要贡献的个人和集体,均已在文中以明确方式标明。本人完全意识到本声明的法律责任由本人承担。期:本人完全了解山东大学有关保留、使用学位论文的规定,同意学校保留或向国家有关部门或机构送交论文的复印件和电子版,允许论文被查阅和借阅;本人授权山东大学可以将本学位论文的全部或部分内容编入有关数据库进行检索,可以采用影印、缩印或其他复制手段保存论文和汇编本学位论文。C苈畚脑诮饷芎笥ψ袷卮斯娑包含任何其他个人或集体已经发表或撰写过的科研成果。对本文的研日
第一章绪论当今社会对信息的需求急剧增加,刺激着人们对高速率、大容量信息的传输、存储、交换与处理的研究,因此集成光路应运而生,它是在激光技术发展的过程中由于光通信、光信息以及光计算机的需要而逐渐形成和发展起来的,采用类似集成电路的方法,把激光器、调制器、探测器、光波导、耦合器等光学元件以薄膜的形式