文档介绍：浙江大学
博士学位论文
Y型和S型组合双声路SAW质量传感器研究
姓名:章安良
申请学位级别:博士
专业:微电子学与固体电子学
指导教师:朱大中
20040101
摘要本论文在旋转懈钜籜传播方向的基片上研制了结构新型的传播路径上都有一个由光刻工艺精确定位的质量沉积区。由于环境温度对ǜ器性能影响显著,所以本论文研究的秃蛃型声表面波质量传感器件都具有两支本论文阐述了叉指换能器的P汀⒌刃У缏纺P秃蚉矩阵表示方法;耦合器能量转移的原理、能量转移效率;组合声路的频率响应。介绍了ǜ衅鞯幕驹怼⒅饕=峁估嘈秃凸谕獾姆⒄棺纯觯⒉隽薙传感器在物理和化学领域中的应用。同时,介绍了ǜ衅鞒S玫难沟绮牧稀耦合器的设计和质量沉积区的设计。所研究的秃蚐型双声路柿看ǜ衅骷声路柿看ǜ衅骷墓ひ昭兄谱髁烁爬ㄐ缘孛枋觥迟线振荡器由宽带放大器、可调衰减器和声表面波质量传感器件构成。延迟线振荡器其温度补偿后由于质量沉积效应所引起的振荡频率漂移量。应用标准信号源验证了测量系统的精确性,频率跟踪特性误差在以内。该测量系统显示直观,精度高,和退飞砻娌ㄖ柿砍粱вΥǜ衅骷K歉髯跃哂幸桓鍪淙隝和两个输出J淙隝激发的詈掀靼粗岫猿和中心对称型分成两路,分别由输出觳馐涑觥T赮型和蚐质量沉积效应传感器件的声路,一支声路作为参考声路,另一支声路作为测量声路,以补偿环境温度的影响。详细介绍了秃蛃型双声路柿看ǜ衅骷纳杓圃恚↖的设计、工作频率为,带宽为和退稴质量传感器件的频率响应特性进行了仿真。同时,对秃蛃型双介绍了测量系统的设计并研制了秃蚐型双声路柿看ǜ衅鞑饬肯低场Q输出信号经滤波后与的本机晶体振荡器输出信号相混频,通过低通滤波取其差频,并经整形后由数字信号处理电路处理。数字信号处理电路采用高精度、具有温度补偿的时钟芯片作为基准时钟,采用高频可逆计数器对整形后的脉冲信号进行正向或逆向计数,采用高性能的多路选择器控制两路藕诺亩ㄊ毖≡瘛W詈螅允是双声路声表面波质量传感器理想的测量系统。本文对秃蚐型双声路柿看ǜ衅骷涮匦越邢晗覆馐苑治觯诜钦迦胨鸷脑嘉2⒂τ肕訷型浙江大学博士学位论文
荡模式下测试了秃蚐型双声路骷钠涤蛱匦院褪庇蛱匦裕河τ肞矩阵法推法具体分析计算了秃蚐型双声路声表面波质量传感器件一次时延信号、三次渡越反射信号和五次渡越反射信号,并与对应参数的“一”字型器件三次渡越反射和五次传感器件的三次渡越反射信号和五次渡越反射信号比“一”字型双声路声表面波质量传感器件的三次渡越反射信号和五次渡越反射信号分别小、.。在中心频率处的插入损耗实验值嘉与卣蠓ㄍ频汲龅睦砺壑本文对秃蚐型双声路柿看ǜ衅骷拇ǜ刑匦越邢昝宀馐苑治觯赮型和退飞砻娌ㄆ骷闹柿砍粱械味ê形⒘縉苤实囊掖己退混合溶液,以测试器件的质量沉积效应灵敏度,。测试了秃蛃型双声路声表面波器件的频率一温度特性,其单声路温度系数约为,双声路相对温度系数约为类研究先进水平。测量系统延迟线振荡器的蹈叽庞诠谕馑ǖ啦饬系统的怠目前,声表面波传感器的研究日益成熟和深入,声表面波传感器的类型目益多样,应用范围也愈益广泛,它的测量精度和灵敏度也不断提高。导了汀型及“一”字型双声路声表面波质量传感器件的传输特性;应用卣渡越反射进行对比。结果表明,在正常工作模式下,秃蚐型双声路声表面波质量嘉相近。,//,.、.
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第一章绪论本章主要阐述了本论文的研究意义扣所做的主要研究工作,最后是各章简介,声表面波际跏橇甏┢诜⒄蛊鹄吹囊幻趴蒲Ъ际酰巧А:际鹾痛蠊婺<傻缏肺4淼奈⒌缱蛹际鹾图扑慊际醯难该头⒄刮I砻播速度比电磁波大约慢十万倍,在它的传播路径上容易取样和进行处理,因此,用声表面波去模拟电子学的各种功能,能使电子器件实现超小型化和多功能化。世界各国利用声表面波技术研制的声表面波器件有嘀郑惴河τ糜谖尴咄ㄐǜ衅鳎被褂幸匀嗥骷;】7⒌墓δ苣?榛蜃酉低常缏龀逖顾趼瞬中继、雷达、声纳、电子战、遥控、遥测、广播和电视中被大量使用【引。特别是在某些方面,与其他可用的技术相比,声表面波技术提供了一种更加经济,或用其他技术难以解决的途径。比如目前技术最成熟应用最多的声表面波带通滤波器,、蚐系统,使军用、民用无线电设备出现高度集成化、固体化,实现超小型化、高可靠。例如瞬ㄆ魃杓浦鸾ソ件已经并正在用来改进和翻新现有的电子系统。电子学、光学、压电材料和半导体平面工艺相结合的一门边缘学科。随着以硅微机械波技术研究提供了坚实的技术基