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TEM操作步骤及注意事项.docx

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TEM操作步骤及注意事项.docx

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TEM操作步骤及注意事项.docx

文档介绍

文档介绍:FEI TECNAI 20透射电镜
目录
电镜操作面板 - 2 —
使用步骤:ﻩ- 4 -
一。放置样品 — 4 -
— 4 -
三。拍形貌 — 5 —
- 6 -
五、拍衍射 — 6 —
六、能谱分析ﻩ— 7 -
七、高分辨ﻩ— 7 —
八、拔样品杆及关机 - 8 -

电镜操作面板
左面板
一般不用
调节光斑大小
光束倾转
只是打衍射采带轴时用
(不用)L1
(做高分辨时,使Focus归零)L2
(降 Spot Size)L3
Course
Fine
多功能钮X
Exposure
Course
Fine
光速球
—+


左面板


Stigmator
Intersity
右面板
调焦
升降倍数
拍暗场像
Z(高度,调焦)
R1(抬屏)
R2(不用)
R3(升Spot size)
Focus


样品杆
Eucentric focus
Wobbler
Magnification
Diffraction
Dark field
多功能钮Y
中间
镜筒
C1(不动)
物镜光阑
(拍形貌)
选区光阑,(拍衍射)
1—7档,外调位置,内调大小
C2

注意事项
使用电镜时,首先要观察电镜的状态。
有黄色背景的按钮,要谨慎。
观察一系列数值,包括:最佳电流值、Spot size、样品各坐标是否都归零等。

使用步骤:
一。放置样品
,夹子不能碰到银环,放置后,用手振动玻璃管,使样品至中间状态,然后用螺丝帽压紧(不可过紧,固定住即可)
2。插入样品杆时,要使杆上小柱的位置对准左上角螺丝,插至凹槽完全进入,然后连上数据线。确认在双束(双倾台不是双束)下,点两下回车。打开抽真空示意图
→Vacuum Overview,开始抽真空.
3。两次抽真空完毕后,逆时针旋转小柱对准Close,插入。抽真空共分成两段时间,第二个倒计时结束后,即红灯一灭,,要一手拿着,一手托着,放置进入过快。然后点Tube on。然后点Col Values Closed。
Gun 1
Colum ≤6
Camer ≤20
检查
4.关灯,取下蒙皮.
→Search,即可看到样品所在位置。开始找样品中心空洞。
二。合轴
1。在Spot size为1,低倍(6200X或8700X)下找到薄区(朝着光亮处找)。(按Eucentric focus)。
2。放大倍数至86000X,然后将光斑移至孔区域,开始合轴。观察光斑是否为圆形,非圆形时要进行调圆→condenser,调圆后点→None
。。
(1)Spot size 2→Gun shift→光斑移至中间→Done
(Spot size大小用R3和L3进行加减。)
(2)Spot size6→Beam shift→光斑移至