文档介绍：中山大学
博士学位论文
Mg<,x>Zn<,1-x>O薄膜的制备、物性及新型光电、存储器件研究
姓名:陈心满
申请学位级别:博士
专业:凝聚态物理
指导教师:包定华
20090601
、物性及新型光电、摘要业:指导教师:凝聚态物理陈心满包定华教授专博士生:衬底上生长的薄膜具有高度崛∠颉畑“∧谱的猦穸本论文采用ㄖ票噶薓畑∧ぃ芯苛吮∧さ奈⒐劢峁埂⒐庋阅和电学性能,以此为基础,,。研究了采用异质岬髡∧さ缱杩9匦灾的途径,。主要内容如下:捎胹法制备了掺杂的.∧“能带工程”,研究了含量的变化对晶体结构和光电性能的影响。掺杂会引起腃轴晶格常数的畸变,当ǎ时,薄膜能够维持牧方相纤锌矿结构。其间,峋Ц癯J蟅桑浣矶扔隭也呈线性关系。∧さ腜妆砻鳎倭康腗粼佑欣谔岣弑∧さ腘发射强度。导电玻璃衬底上嚷∧,掺杂能够减少薄膜中的氧空位浓度,从而减少薄膜中的载流子浓度,晗秆芯苛薓.~∧ぴ赑疶疭疭牡咨系慕峁固卣和晶格振动特性。由于与两晶面之间的失配率较小,///模由于“合金效应”,出现非对称性宽化。而纤锌矿结构..薄膜降低漏电流。
谱的振动模符合模型的理论描述,随脑黾樱琇腞频率线性蓝移:庵直浠叵狄仓な盗薓粼佣訸阅艿ü齨畑∧び雙薄膜的结合,采用ひ赵贗玻璃等衬底上制备了相应的透明异质帷@肵技术对衬底上痁异质结的价带偏移测试表明,募鄞暗即芗毒挥贜的价带及导带能级下,,“能带工程鹘冢核孀臡康脑黾樱琾/.异质结的禁带宽度展宽,反向击穿电压升高,漏电流逐步降低。通过制备成分梯度变化的偷绲疾愣怪畁异质结,由于空间静电场的存在,影响载流子的分布和运输,从而减小了异质结的漏电流及反向饱和电流,且提高了猲结的反向击穿电压。,这种薄膜具有类尖晶石矿结构。通过电流脉冲的作用,、稳定转换,表现出较好的单极性电阻开关效应。/疨∧て骷牡缱杩9匦阅芫哂忻飨缘含量依赖性。/疨∧て骷某跏蓟兄档缌髀龀摺低阻态的电阻比疞嘉K孀臡粼恿康脑黾樱∧て骷目9匦灾实玫接化,如/。这种成分的依赖性可归结于高掺杂引起的相结构变化及薄膜载流子浓度的降低。由于/./器件的缪咕∮且开关过程相对比较简单,便于控制,能够满足实际应用要求,在未来高密度存储器件制电流模型进行解释:电流脉冲对器件初始化的过程导致金属态导电丝的形成,从而使器件处于低阻态,表现出欧姆电导性质;而导电丝由于微区焦耳热效应或氧化导致断裂,器件呈高阻态,其电导表现为,由薄膜本身的性质主导。芯苛薖疶疭疭牡咨螻/熘式岬目9靥匦浴S捎诮缑∞.,.影响。价带和导带的偏移量分别.,同时异质结界面形成型的能带连接结构。竞争中颇具潜力。疢畑疨∧て骷牡ゼ缘缱杩9匦в捎玫嫉缢磕P秃涂占涞绾上
散程度;同时,极大的减小了初始化器件所需的阈值电流脉冲,衅。异质结开关性处猲结的形成,异质结表现出较好的整流特性。与单独的/疨蚉疢../器件相比,/疢../异质结器件的电阻开关特性得到明显改善,主要体现在:能的改善可以归结于异质结界面缺陷对开关过程及载流子运输的影响。,在未来的光电器件中具有广阔的应用空间。同时,,可进一步开发成为佣参猌基薄膜应用研究开辟新的方向。关键字:.薄膜,幔獾缙骷缱杩9兀缱璐娲⑵
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嗍:哆蝴学位论文作者签名:矗、心澎论文原创性声明本人郑重声明:所呈交的学位论文,是本人在导师的指导下,独立进行研究工作所取得的成果。除文中已经注明引用的内容外,本论文不包含任何其他个人或集体已经发表或撰写过的作品成果。对本文的研究作出重要贡献的个人和集体,均已在文中以明确方式标明。本人完全意识到本声明的法律结果由本人承担。
日期:莎严易月甲日学位论文作者签名:商沁、习髟知识产权保护声明本人郑重声明:我所提交答辩的学