文档介绍：西北工业大学射频磁控反应溅射法制备薄膜的研究学校代号:—尴旦工学硕士学位论文导学科、专业:硕士研究生:师:申请学位级别:所在单位:答辩日期:授予学位单位:闫锋刘正堂教授工学硕士材料学材料学院年号:§鳢§国内图书分类号国际图书分类号学
摘要术基础。论文的主要工作及研究成果如下:透效果可达%。示淦倒β省⒔ι淦埂⒊牡孜露群虯辶髁勘榷员∧こ粱俾实挠合形成了化合物;治鼋峁砻鳎粱∧ぶ衁饕R苑蔷ё衬底上镀膜后,在~“波数范围的平均透过率可达%以上,薄膜的折射率约为金刚石具有优异的力学、电学、热学和光学性能,是用于长波红外波段~硐氲拇翱诤屯氛植牧稀H欢蔽露瘸时金刚石很容易发生氧化,导致透过率急刷下降。为了满足在商速、高温下应用的要求,需要在金刚石表面制备抗氧化、增透保护涂层。三氧化二钇具有优良的物理、化学性能,抗高温氧化能力强,可用作金刚石抗氧化保护涂层。在国外,篛,用作金刚石抗氧化涂层的研究已经展开,并取得进展:在国内,有关庋保护涂层的研究还未见报道。本文主要研究制备薄膜的制备工艺和薄膜的成分、结构及红外透过性能,为金刚石应用于蜀速红外窗口和头罩提供工艺技利用软件在金刚石衬底上设计了增透膜系,并对所设计的膜系进行了结构敏感因子及结构偏差分析。膜系设计结粜表明,在金刚石衬底上镀或/は岛笤—ǘ蔚暮焱馔腹士纱ィ畲笤在痛趴亟ι涠颇せ嫌呕隽酥票竃∧さ墓ひ詹问响规律。正交试验设计结果表明,溅射气压和射频功率是影响薄膜沉积速率的主要因素,弗由此确定了获得薄膜最大沉积速率的工艺参数。对制备的薄膜进行了湎吖獾缱悠、湎哐苌和红外透过光谱分析。治鼋峁砻鳎粱∧ぶ衁和咏态存在,在峦嘶鸷骙∧ご讯嗑ё1洌缓焱馔腹馄追治鼋峁砻鳎关键词:金刚石:;抗氧化:膜系设计;磁控溅射■■■———猒!!觥觥!觥!觥!——————■■鲻灸ò 鲫佟!■蕾,
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簿泛懒枞镂磈黼荔孽睡、警誊弱男璧穰绸第一章文献综述研究背景及意义海:二第一章文献绣述要求呼@绯羲俜苫⒖眨盏嫉雀咚俜尚衅鞯那笆雍焱獯翱凇⑼氛纸ǔ粆等严峻条件的考验。红外窗口和头罩是红外系统不可缺少的部件,其功能是保下正常工作。例如飞行器高速飞行时,其窗口或头罩由于空气动力加热,表面现代航空、航天技术及红外技术高速发展,红外光学元件的服役环境越来越苛刻,因此对红外窗口、头罩材料的物理性能和化学性能提出了越来越高的受高温、高压、热冲击、大气中的游离灰尘和冰雹等固体粒子以及南滴的撞击护热成像系统在高速俣瘸4~砗飞行中以及在各种严酷的环境条件温度会急剧上升。图为飞行器窗口或头罩的驻点温度与飞行马赫数及飞行海拔高度三者之间的关系曲线】。从图中可以看到,当飞行器以砗赵高度飞行时,表面温度可以达到。陨稀R虼耍焱獯翱诓牧铣吮匦刖备高红外透过率外,还必须具有高的机械强度、耐磨损、抗风沙雨蚀、抗化学腐蚀等性能,且在高温、低温及辐射等各种苛刻条件下,其光学和物理化学性驻点温度⋯专⋯∥璲马赫数豳驻点温度与马赫数及海拔高度三者之间的关系℃⋯⋯⋯⋯。溽平面轪·⋯⋯‘薄璻⋯’ⅰ粄;
~西北工业大学工学硕士学位论文红外线和无线电波、可见光、湎叩纫谎际堑绱欧洹Mǔ0凑账到之问的电磁辐射。在红外技术领域中,不同波长的红外电磁透过率明显下降,某波段处甚至不能透过,如图大气红外透过光谱R虼一个波段至少包含一个大气窗口,而最后一个波段,大气对它已基本上不透明能稳定性良好。各自所占据的波长蚱德范围排列起来形成电磁波谱。红外线是波长介于辐射在地球大气层中传输特性不同,例如在某波段、和等大气中的气体或液体成分会对红外电磁辐射产生强烈地吸收,造成该波段大气红外通常又把整个红外辐射分成下列几个波段,分别称为:近红外.~中红外~、远红外~图逗焱~U庵只仅仅是为了红外技术工作的方便,采用这种划分的方法,可使前三个波段中的了。红外制导武器的使用波段一般选取长波红外~⒅胁ê焱和短波红外..馐且蛭T谡馊霾ǘ吻笃耐腹首罡摺目前使用的红外光学材料如龋荒芡本弑杆璧墓学、热学和机械性能,尤其是在的长波红外波段。目煎只有会刚石完全能满足这些方面的苛刻要求。表是金刚石与其他常用红外材料的物理性质。可看出金刚莅集力学、电学、热学、光学等优异特性于一身。金刚石具有很优异的光学性质,除大约在恢么嬖谖⑿∥%猯
第一审文献综述高散热率、低摩擦系数和透光性,还可作为导弹的整流罩材料。化学稳定性姘、然而,金刚石在嬉陨系目掌泻苋菀妆魂不胙跗从ι蒀蜃;扇攘ρЦ榷ǖ氖ā=鸶帐砣踉谡庋钠罩薪鼋霰┞都该钟,就会发生严重刻蚀,导致光学性能急尉下降。蔼在飞行器高速飞行的过程对高温服役的金剐石窗或头罩实施抗氧化保护攒施,