文档介绍：贵州大学
硕士学位论文
MgB<,2>超导薄膜的制备及其性质研究
姓名:王松
申请学位级别:硕士
专业:微电子学与固体电子学
指导教师:杨健
20070601
摘要超导薄膜的制备及其性质研究自从年简单金属间化合物的超导电性被发现以来,其超过传统砺劭蚣艿某甲1湮露群陀乓斓某继匦粤⒓匆鹆顺嘉锢硌Ы绲墓注,人们对这种神奇材料的认识也在不断的深入,对其实际应用的开发也日新月本论文研究中,我们采用化学气相沉积雍笸嘶鸬囊煳涣讲缴的方法和双温区原位混合物理化学气相沉积缴さ姆椒ǎ谂多晶基片上成功地制备出大面积超导薄膜,通过多种实验测量确定了其超导特性。∧ぱ访婊为。主要论文工作总结如下:⒉∧ぃ帽曜妓囊叩缱璨饬法测量了撸鹗甲1湮露却锏。测量了样品的砻嫘蚊病利用猰苌分析物相、湎吖獾缬枘芷分析表面成分和超导量子干涉仪写判圆饬浚玫搅吮∧ぱ反啪曲线痛胖颓瓾隙髂P图扑惴⑾盅返牧俳绲缌髅芏/以上,是目前报道的最大值。说明化学气相沉积的方法制备大面积超导薄膜在技术上已经达到实用化的要求。⒃谠谢喑粱票窶急∧すひ盏幕∩希7⒘怂ḿ尤绕髟位制备超导薄膜的技术和工艺,在多晶现票傅某急∧超导转变温度疋可达.,呶.。测量了样品的砻嫘蚊补察、猰苌物相分析、湎吖獾缱幽芷表面成分分析和利用超导量子干涉仪械拇判圆饬浚玫搅吮∧ぱ返拇滞曲线,经计算发现样品的临界电流密度可达/泊锏搅思傻缏实现超导互连应用的水平。⒊醪教致哿薓急∧ぴ诩傻缏飞系挠τ们熬埃岷弦煳煌嘶鹆讲街备和原位一步制备这两种工艺技术,在制备多层超导薄膜、制造新型超导器件、实现集成电路超导多层互连布线等方面有重要意义。异。可达贵州大学徽电子学与固体电子学届硕士研究生学位论文Ⅲ
关键词:超导薄膜混合物理化学气相沉积异位退火原位生长双温区贵州大学徽电子学与固体电子学届硕士研究生学位论文摘要
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言迹般地被突破了。年底,猚挡牧嫌职蚜俳绯嘉露鹊募锹继前S膌.,其超导临界温度达幽鞘逼鸪甲1湮露我们日常生活中使用的一切物质都具有电阻,这是一般的常识。但是某些物质在温度逐渐降低到绝对零度阆.℃浇保涞缱杌岜涑闪恪U饩是超导现象。超导现象是年荷兰科学家温奈斯发现的,⑾炙电阻完全消失,他将这种物质的状态命名为超导态,将电阻消失时的温度称为超导转变临界温度。由于超导体具有的奇妙特征,人们立即对它产生了浓厚兴趣,超导材料具有引人注目的用途,发现高临界转变温度的超导材料的竞赛在各国之间展开。年制成的铌锡合金转变温度为零下海曛瞥傻念暾嗪辖鹱1湮露任零下妫嗄甑呐Γ9娉继辶俳缥露戎荒芴岣咧羣。由于以上的超导现象只能在液氦温区出现,而氦是一种稀有气体,,人们一直在探索把超导临界温度提高到液氮温区陨的办法,这就是高温超导研究。到了年代末国际上掀起一股超导研究热潮,年初高温超导研究取得了突破性的发展,物理学家虰发现了高温铜氧化物超导体的纪录不断被打破。年拢拦R峥蒲Ъ抑炀浜椭泄蒲Ъ艺灾蚁拖继在钇築佛系材料上把超导临界温度提高至陨希旱5慕奇高到。年轮泄佳芯恐行闹瞥傻奶囝橄挡牧系牧俳缥露任A阆妫5笔惫首罡呒吐肌K婧蟮募改辏呶鲁剂俳缥露妊杆偬岣撸达到以上,并向更高的温度进军。迄今为止,已有豢蒲Ъ乙蛭Q芯砍继而获得了诺贝尔奖。高温超导材料的不断问世,为超导材料从实验室走向应用铺平了道路。贵州大学徽电子学与固体电子学届硬士研究生学位论文。
当全世界的超导研究科学家都将注意力集中于铜氧化物陶瓷材料的超导特性研究时,⑾諱材料的超导电性,其超导临界转变温度达保谑澜缒厶锢硌Ы缫鸺大的轰动。因为砺墼缇驮ぱ粤讼馦庋募虻ソ鹗艏浠衔锏某甲变温度不可能超过琈姆⑾执偈谷嗣潜匦攵越馐统嘉⒐刍频腂理论进行再认识,有助于找到能统一解释高温超导微观机制的超导理论。超导电性的发现,大大地扩展了人们寻找新的高温超导材料的视野。在超导电性的发现之后,人们很快就在传统认为不可能出现超导特性的有机分子材料、塑料材料、%分子等领域发现了具有超导电性的物质。罕旧砭途哂刑厥獾某性能,和铜氧化物衔鲁疾牧舷啾冉希琈坏ň哂薪洗蟮南喔沙ざ取⒔洗蟮临界电流密度和临界磁场强度、无弱连接效应、表面电阻小等优异性能,而且其结构和组成简单,原料丰富,价格低廉、易于加工合成等特点。撼继匦缘发现也极大地推进了高温超导材料的应用研究。使得成为有广泛应用领域和前景的一种超导材料。在本文中,我们主要