溅射深度剖析的定量分析及其应用.pdf

文档介绍：第 卷第 期 真 空 ．，．
年 月 ．
溅射深度剖析的定量分析及其应用
刘 毅 。王 江 涌，
．汕头 大学 理 学院 物理系 ，广东 汕头 ；．深圳 大学 深圳 市特 种功 能材料 重点 实验室 ，广东 深圳
摘 要 ：本 文 对 溅射 深度 剖 析定 量 分析 中广泛 应 用 的 模 型及 其应 用 作 了一 个综 述 。模 型 考 虑 了
在 深度 剖 析实 验 中 ，引 起 真实 元素 成 分深 度 分 布失 真 的三 个 主要 因 素 ：溅射 导 致 的 原子 间 混合 ，样 品
表 面 ／界 面的 粗糙 度 ，测 量技 术 的信 息深 度 。通 过考 虑 在 溅射 过 程 中发生 的择 优溅 射效 应 ，这 一模
型得 以进一 步 完善 。利 用这 一 模 型 ，可 以定量 分 析深 度 剖析 实 验 的深 度分 辨 率 ，以及 定量 确 定纳 米 薄 膜 中
的 互扩 散 系数 。
关键 词 ：溅射 深 度剖 析 ；定 量分 析 ；模型 ；深 度 分 辨率 ；扩 散 系数
中图分 类 号 ： 文献 标识 码 ： 文章 编 号 ：— ——

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