文档介绍：第 35卷第 3期表面技术 V 35 NO. 3
2006年 6月 SURFACE TECHNOLOGY Jun. 2006
多孔阳极氧化铝膜的最佳制备工艺研究
李淑英, 宋琛
(大连理工大学化工学院, 辽宁大连 116012)
[摘要] 为了得出多孔阳极氧化铝膜的最佳制备工艺, 利用正交试验法研究了制备多孔阳极氧化铝膜的影响因
素: 氧化时间、氧化电压和扩孔时间, 分别讨论了各影响因素对阳极氧化铝膜的单独作用; 通过扫描电镜( SEM ) 、X 射线衍
射仪等观测了阳极氧化铝膜的形貌和结构特征, 结果表明: 氧化膜上的微孔分布均匀, 孔径大小基本相同, 平均孔径约为
150nm, 孔密度约为 2. 5 @ 109 个/ cm 2; 得出阳极氧化最佳制备工艺: 温度 20e , 反应时间 120m in, 反应电压 115V, 扩孔时间
6m in。
[关键词] 阳极氧化铝; 制备; 扩孔; 工艺参数; 氧化膜
[中图分类号] TG 174. 451 [文献标识码] A [文章编号] 1001- 3660( 2006) 03- 0033- 03
Study on Optim al Technique for Fabricating
Porous Anodic A lum inum O xide M embrane
LI Shu-y ing, SONG Chen
( Schoo l o f Chem ica lEng ineering, Da lian Un iversity of Science and Techno logy, Dalian 116012, Ch ina)
[ Abstract] The e ffective factors such as the ox idizing tim e, the ox id izing voltage and bore-enlarg ing tim e
by orthogonal testm ethod are stud ied and then each effective factor on fabricating porous anod ic alum inum ox ide
m em brane is respectively d iscussed. O therw ise, anodic a lum inum ox ide m em brane is characterized by scann ing
e lectron m icroscope ( SEM ), X-ray diffraction( XRD ) and so on. The result show s that ox ide tem p late has sev-
eral un ique structure properties such as symm etrica lbores, alm ost sam e size d iam eter( about 150nm ), h igh bore
density ( 2. 5 @ 109 per square cm ). The optim a l techn ique is co