文档介绍：薄膜压力传感器介绍
一、压力传感器的主要分类及性能特点
用来测量气体或液体压力的传感器称为
压力传感器。根据分类不同，压力传感器种
类多种多样。根据测量原理分类如下：
测量原理传感器举例
变电阻应变式、压阻式、电位器式等传感器
变电容电容式传感器
变电荷压电式传感器
变磁阻自感式、差动变压器式等传感器
变电势热电偶式、霍尔式等传感器 2
各种压力传感器对比
种类优点缺点
扩散硅 1、精度高； 1、低于0℃高于40℃后温度稳
（压阻式） 2、小量程和绝压产品优于其它定性能大幅度降低；
类型产品。 2、膜片易损坏，温漂大；
3、压力量程局限。
厚膜陶瓷 1、成本低； 1、不稳定；
（压阻式） 2、抗腐蚀性能好； 2、压力下降时，回零难；
3、使用范围较扩散硅宽。 3、精度差，膜片易碎。
电容式 1、工艺成熟，稳定性较好； 1、成本很高；
2、过载能力强，抗腐蚀性强。 2、体积大，安装维护不方便。
应变片 1、成本低； 1、手工生产，离散性大；
（应变式） 2、成熟胶粘工艺。 2、漂移大，稳定性差。
蓝宝石 1、精度高，温度范围宽； 1、成本高；
2、量程范围宽； 2、工艺复杂技术要求高；
3、体积小、重量轻。 3、敏感材料需要进口。
原子薄膜 1、精度高，温度范围宽； 1、成本高；
（应变式） 2、温漂小，稳定性好； 2、不适合小量程和差压测量。3
3、体积小、重量轻；
注：资料来源于《传感器应用技术》和英国ELLISON压力传感器产品手册
二、压力传感器的基本技术参数
传感器的基本特性是指传感器的输出与输入之间的关系
特性，一般分为静态特性和动态特性两大类。压力传感器的
静态特性主要有以下几个指标：
1、测量范围（量程）
2、线性度（非线性误差）
3、迟滞（滞后、回滞）
4、重复性
5、基本误差（精确度）
6、稳定性: 温度稳定性［零点漂移（时漂）、热零点漂移（温漂）］
时间稳定性［用%FS/年或%FS/月表示］ 4
三、薄膜压力传感器工作原理
Uo-
R1
R2
Vin+ Vin-
R4 R3
R1R3－R2R4 Uo+
U0=E
5
(R1+R2)*(R3+R4)
5
钢杯及其表面薄膜结构