文档介绍：充压法氦质谱检漏的器件漏率双值求解和粗、细检漏的可靠衔接中文摘要漏是电子界较常用的无损检漏方法。但是其双值特性对捡漏结果的影响，一直以来没的问题，预测密封性筛选在元器件可靠性上所能达到的效果，掌握电子元器件封装中漏孔的特性，以及他们漏率的统计分布规律是很重要的。本文证明国内外至今通用的充压法氦析分子流计算公式存在着“双值特性”，即求出两个实际漏率。将研究结果用于微电子器件的氦析中，可较好的解决粗，细析漏关键词：氦质谱析漏，双值特性，可靠衔接，编程计算，查表计算随着微电子技术的发展，电子产品的集成度日益增大，速度越来越快，功率增大，数逐渐增多，对封装提出了更高的要求，封装的密性性直接影响了芯片制造的合格和可靠，直接影响微电子器件的高频性能、热性能、可靠性和成本。氦质谱析有得到很好解决。为了能正确的进行电子元器件的密封性筛选试验工作，并能解决实验工作中遇到器件每个测量漏率对应于两个不通大小的实际漏率，通过计算机编程求解或查表计算的可靠衔接。作者：刘衍捷指导老师：王明湘充压法氮质谱检漏的器件漏率双值求解和粗、细检漏的可靠衔接
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导师签名：。旦』饰谝蝗掌冢褐非鹪烈型鸳超日期：坦』：』：三苏州大学学位论文独创性声明及使用授权的声明学位论文独创性声明学位论文使用授权声明本人郑重声明：所提交的学位论文是本人在导师的指导下，独立进行研究工作所取得的成果。除文中已经注明引用的内容外，本论文不含其他个人或集体已经发表或撰写过的研究成果，也不含为获得苏州大学或其它教育机构的学位证书而使用过的材料。对本文的研究作出重要贡献的个人和集体，均已在文中以明确方式标明。本人承担本声盟的法律责任。苏州大学、中国科学技术信息研究所、国家图书馆、清华大学论文合作部、中国社科院文献信息情报中心有权保留本人所送交学位论文的复印件和电子文档，可以采用影印、缩印或其他复制手段保存论文。本人电子文档的内容和纸质论文的内容相一致。除在保密期内的保密论文外，允许论文被查阅和借阅，可以公布ǹ论文的全部或部分内容。论文的公布ǹ授权苏州大学学位办办理。研究生签名：’‘，
第一章绪论芯砍溲狗êぶ势准炻┓肿恿鞴降囊庖究翁獾墓谕庋芯慷是当今世界科学技术发展的主流。随着微电子技术的发展，电子产品的集成度日益增大，速度越来越快，功率增大，数逐渐增多，这必然对微电子元器件的封装质量提出了越来越高的要求。封装的密封性不仅直接影响芯片的工作寿命，而且还影响元器件的高频性能、热性能及可靠性和成本。充压法氦质谱检漏是微电子领域常用的成品无损检漏方法。但是由于检漏本身采用的针算公式存在着“双值特性”。该特性对检漏的影响在某些情况下举足轻重，处理不好，检漏结果的正确性可能受到质疑。至今在国内外还未见到这一问题已经获得园满解泱的报道。分子流公式是至今国内外在充压氮检中唯一应用的公式，其原因除了“至今还无法推导出一个既考虑了分子流，又考虑粘滞流酥晾┥⒘的通用公式”【外，主要考虑到微电子元器件的漏泄以”裂缝型”居多，而对于漏率在玜．／围话阄⒌缱邮云返摹奥┞噬秆”曜肌倍寄苈淙肫渲的裂缝型漏泄而言，在一般充压法氮检的工艺条件下，氦气在试品漏泄的流动基本上都能满足分子流的要求。也就是说．对于漏率在该范围的试品而言，分子流公式还是相对比较精确的。对于漏率大于上述范围的漏泄，尽管计算公式可能存在着较大的误差，但进一步的研究可知，这种”误差”可以增加检漏合格品的可信度，显然这一点对密封性筛选夤量要求较高的微电子产品而言，还是可以接受的。材料、信息、能源是现代科学技术发展的三大支柱，而微电子技术是信息科学的基础、电子工业的先导。微电子的快速发展几乎带动了现代科学技术各个领域的革命，国内外对充压法氮质谱检漏的应用情况与国外基本相同，但是损据每个测量漏率，用查表计算的方法求出两个对应的实际漏率，并将漏率“双值特性”用于研究和解决粗、细检漏的可靠衔接，至今未见到报道。近些年来，国外对充压法氦检的研究主要充压法氮质谱检漏的器件漏翠双值求解和粗、细捡漏的可靠衔接第一章
，研究粗、细检漏一次性卖现的新方法。，缩短每次检漏的循环时间。，提高检漏的自动化程度。则重以下几个方面：，提高充压法氮检系统和与之配套的粗检灵敏度第一章充压法氮质谱检漏的器件漏率双值求解和粗、细检漏的可靠衔接
第二章充压法氦质谱检漏的基础知识ぶ势滓堑幕局J质谱仪的发展概况’’／辏褂昧郊洞懦》治龊偷缱颖对龇椒ǎ槊舳却锏搅一般电子元器件的氦质谱检漏包括”充压法”，“掺氮法”，“穿透法”，“累积探针法”以及“确定元器件漏气部位”等等。对于