界面极化效应对algan／4h—sichbt器件性能影响研究-论文.pdf

文档介绍：第 卷 第 期 真 空 科 学 与 技 术 学 报
年 月
界 面极化效应对 ／—
器件性 能影 响研究
周 守利 李 伽 梁显锋 安军社
．浙江工业大学 信息 学院 杭州 ；．中科院 国家空间 中心 北京

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摘 要 ／异质结 界面存在大的 自发和压 电极化效应 ，从而使界面 出现较 多数量 的极化电荷 ，这导致 器件 电学
性能的改变。利用热场发射一扩散模型，基于数值模拟方法研究了异质结界面极化效应产生的极化电荷对 ／．
器 件直流性能和高频性 能的影响 。得到 了 ／异质结界面极化效应引诱 的正极性极 化界面电荷削弱 了异质结 的内
建 电场 ，加速 了载 流子的扩散运 动 ，因而能促进载流 子的输运 ，从 而使 器件 的直流特性和高频特性得到改善 。
关键词 ／． 异质结界面 极化效应 热场发射一扩散
中图分类号 ： 文献标识码 ： ：．／．．—