文档介绍：半导体制造技术
点砂成金的梦想实现
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在很久很久以前，大河边上，我们的祖先有一个梦想，他们希望把石头变成值钱的黄金。但是他们一直没有实现他们的梦想
大河滚滚东流，岁月的车轮终于驶入20世纪。三个美国科学家，巴恩，肖特莱，也为这个梦想而苦苦追寻，最终他们找到了让一堆泥砂变成比黄金还贵重的东西的方法。
下面我们将谈谈点石成金的半导体技术。
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什么是半导体？
根据材料的导电性能的强弱，我们把材料分成三类：导体，半导体，绝缘体
导体：电导率大于10（u-3）oum/cm的材料，如铜，铝，银等
绝缘体：电导率小于10(u-9)oum/cm的材料，如玻璃，塑料等
半导体：导电性能介于导体和绝缘体之间的材料，如硅，锗，硼、碲、锑等
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半导体材料的分类
.元素半导体：如锗、硅、硒、硼、碲、锑等，现在说的半导体主要指硅，硅就是我们常见的泥沙。在地壳中，硅的含量仅次于氧，高于铝。
化合物半导体：由两种或两种以上的元素化合而成的半导体材料，如砷化镓、磷化锢、锑化锢、碳化硅、硫化镉及镓砷硅等。
无定形半导体材料：用作半导体的玻璃是一种非晶体无定形半导体材料，分为氧化物玻璃和非氧化物玻璃两种
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半导体材料的使用
在几百万年前，我们的祖先是用鹅卵石。
十万年前，他们开始使用自制工具。
五千年前，他们开始使用金属工具。
五百年前，他们开始使用会爆炸的工具。
如今，我们使用半导体工具，比如我们常用的电脑，电视，手机，甚至汽车都跟半导体有关。
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我们使用半导体的历史
有人统计，一公斤“芯片”的价值远远大于一公斤“黄金”，甚至“白金”。
半导体已经深深地改变了我们的生活，那我们是从何时开始使用半导体的呢？
半导体的使用历史。
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我们使用的半导体实际上是超大规模集成电路
所谓的集成电路
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集成电路简介
所谓集成电路,是指把某一单元电路用集成工艺制作在同一基片上,使之具有和单个分开的元器件所制作的电子线路同等或更好的功能。
现有的集成电路,主要是将电阻、电容、二极管、三极管等元器件及其互连线集成制作在单个半导体硅片上的半导体集成电路,又称为芯片
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技术上质的变化----集成电路技术
它不仅是对使用分立元件的电子产品进行微型化的技术,而且是使整个电子系统的设计、加工工艺、封装等发生质的进步的新技术。它着眼于系统集成,大大提高了生产效率,降低了成本,保证了可靠性
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最小加工尺寸从60年代的10微米(1微米=10-6米〉降到1990年的1微米;集成度(即一定尺寸芯片上的晶体管数)不断提高,近些年来一直保持每3~4年翻两番的趋势。1995年,在实验室里已能做到在350mm2的硅片上集成5亿个元件,;生产上己能在150mm2成3000万个元件,
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