文档介绍：大连理工大学硕士学位论文
摘要
在单晶硅太阳能电池的制备过程中，通常利用碱溶液对晶体硅在晶向
上的各向异性腐蚀特性，在硅片表面形成类似于“倒金字塔’’结构的绒面，通过增加照
射光在硅片表面的反射次数，提高光的吸收率，从而提高单晶硅太阳能电池的转换效率。
用绒面做成的电池称为“绒面电池’’或“无反射绯兀缘绯氐娜廾嫜芯慷杂谔岣呦
有硅太阳能电池的效率和降低成本有一定的意义。
本文研究了碱性溶液的浓度、温度、反应时间这些因素对单晶硅片绒表面反射率的
影响，并进一步研究了氢氧化钠溶液的浓度对单晶硅片载流子寿命的变化起到的作用。
利用原子力显微镜亓髯邮倜黽测试仪、分光光度计等测试
手段和仪器对样品进行了相应的测试和分析。实验分为以下几个部分：
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分光光度计、、Ⅳ亓髯邮倜馐砸遣馐圆⒀芯苛薔ǘ榷缘ゾЧ璞
面表绒面制备及其载流子寿命的影响，研究表明经浓度为サ腘芤焊春蟮
单晶硅片表面上呈现分布均匀的金字塔结构，其表面平均减反射率最佳，反射率可降到
％；但腐蚀后硅片的载流子寿命在的浓度为ナ贝锏阶畲螅纱锏．

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反射绒面，利用原子力显微镜、分光光度计研究了磷酸钠的浓度、温度和时间
对单晶硅片绒面制备的影响。研究结果显示：用浓度为サ腘溶液在
℃腐蚀梢缘玫狡骄瓷渎蚀笤嘉％的绒面，在磷酸钠溶液中加入异丙醇
会使结构化结果变差。
捎貌煌ǘ鹊腘溶液在不同温度和不同反应时间的条件下制备单晶硅片
的减反射绒面，利用原子力显微镜、分光光度计研究了硅酸钠浓度，温度和时
间对单晶硅片绒面制备的影响。研究结果显示：用サ墓杷崮迫芤涸诘ゾЧ璞砻嬷
作了平均反射率为．サ募醴瓷淙廾妗７从ξ露仍媸敝谱鞯娜廾婕醴瓷湫Ч虾茫
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关键词：太阳能电池；单晶硅；结构化；载流子寿命
太阳能电池绒面的研究

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