文档介绍：ISO146443检测方法
ISO146443检测方法
ISO146443检测方法
ISO 14644-3
第一版2005-12-15
洁净室及相关受控环境 ——
第3部分: ….。
检测方法
Reference number
ISO 14644-3:2005(E)
Copyright International Organization for Standardization
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洁净室及相关受控环境
ISO146443检测方法
ISO146443检测方法
ISO146443检测方法
第3部分：检测方法
目 次
前言
引言
１ 范围
2 引用标准
3 术语与定义
3。1 概述
3。2 空气悬浮粒子测量
３。3 空气过滤器与系统
3。4 气流
3。5 静电测量
测量仪器与测量条件
占用状态
4 检测方法
洁净室检测
原理
5 检测报告
附件A(资料) 各种检测的选择和实施顺序
附件B（资料） 检测方法
附件C（资料) 检测仪器
文献(略)
ISO146443检测方法
ISO146443检测方法
ISO146443检测方法
前 言
国际标准化组织（ＩSＯ）为全球各国标准化组织（ISO成员)的联合会,，它就有权参加该技术委员会的工作。国际上凡与ＩSO保持联系的政府的或是非政府组织，，与国际电气技术委员会(ＩEC)进行紧密合作.
国际标准草案是按照ＩＳＯ/ＩEＣ指导条例第２部分的法则制定的。
技术委员会的主要任务是制定国际标准。国际标准草案由其技术委员会认可后送各会员团体进行传阅，以待表决。至少需要75%投票的会员团体投赞成票才可将草案作为国际标准颁布。
ISＯ 。
ＩSO 14644—3是由洁净室及相关受控环境技术委员会ISO/TＣ 20９编写的.
ISＯ 1４644在洁净室及相关受控环境的总标题下包含下述各部分：
—— 第1部分：空气洁净度分级
—— 第2部分：证明一直符合ISＯ １４6４4-1的检测和监测技术条件
—- 第3部分:检测方法
—- 第４部分：设计、建造和启动
—— 第5部分:运行
-— 第7部分:隔离装置（洁净风罩、手套箱、隔离器、微环境）
-— 第8部分:空气分子污染分级
正在编写的部分有：
—- 第６部分：词汇
ISO146443检测方法
ISO146443检测方法
ISO146443检测方法
引 言
洁净室及相关受控环境须将空气悬浮粒子控制在合适的水平,以完成相关的、对污染敏感的活动。下述行业的产品和工艺均受益于对空气悬浮污染物的控制：航天、微电子、制药、医疗器械、食品和医疗。
本部分ISO 1４644说明的检测方法，可用于说明ISＯ １４644其它部分中所述的洁净室的特性。
注:本部分ISO １4644并未包括所有洁净室参数的检测方法。ＩSO/ＴC 2０９编制的其他文件中讨论了有特定产品或工艺的洁净室和洁净区的其他参数进行检测时所使用的方法和仪器（例如ＩSＯ 14６98中对活物质的控制和测量方法，IＳＯ 1４6４４-4中的洁净室功能性检测,IＳO 14６44-7中的隔离装置检测).此外还可以考虑其他的适用标准。
本部分ＩSO 14６44中的陈述参照了ＡＳＴM，CＥN,ＤIN,IEST，JACＡ，JＩS和ＳEMＩ等标准.
ISO146443检测方法
ISO146443检测方法
ISO146443检测方法
洁净室及相关受控环境
第3部分：检测方法
注意 – 本部分ISO 14６44的应用可能涉及有害的材