文档介绍：小木虫XPS问题集锦
（第一期）
2006年10月5日
小木虫荣誉出品
目录
前言 ……………………………………………………………………………………… 1
问题－：xps 实战 ……………………………………………………………………… 2
问题二：哪里能进行XPS测试 ………………………………………………………… 5
问题三：XPS结合能 …………………………………………………………………… 5
问题四：XPS实验结果如何分析 ……………………………………………………… 7
问题五： 可载入的des文件 … 8
问题六：XPS怎么算表面元素含量 …………………………………………………… 9
问题七：元素相对含量的计算 ………………………………………………………… 9
问题八：如何设置扫描参数和如何进行XPS分析 …………………………………… 9
问题九： XPS表征什么 ………………………………………………………………… 10
问题十：XPS与EDX在分析表面元素方面有什么区别 …………………………………11
问题十一：XPS研究中各种N的结合能 …………………………………………………12
1
小木虫荣誉出品
前言
通过在小木虫中检索关键词XPS，发现大多数提问及回答都很经典，而
且大多数问题都是我们常见的，为了对小木虫这些珍贵的资源做一保护，
也为了大家查询的方便，特此把大家的提问和回答进行了整理，做此电子
书发表，以后会继续整理此类资源，希望大家满意，多多支持！
由于本人水平有限，如有不足之处敬请各位虫友多多批评指正！
谢谢！
特此感谢所有在小木虫中发表XPS贴子及回贴的虫友！大家辛苦了！
编者：rabbit7708
2006 年 10 月 5 日
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小木虫荣誉出品
问题－：xps 实战
runqi：
成为虫友几个月，斩获颇丰，找到了很多珍贵的资料。但是，总有一种消化不良的
感觉。书本都是一些最基本的原理分析，在实际科研上，往往需要更多的经验和技巧。
今天，我把以前的关于 xps 分析材料成分的一些经验简单总结一下，真诚欢迎虫友补充
和纠正。
1 简介
XPS (X-ray Photoelectron Spectroscopy)又称 ESCA (Electron Spectroscopy for
Chemical Analysis), 能够分析出了氢，氦以外的所有元素。测定精确到 %, 空间
分辨率为 100um, X-RAY 的分析深度在 左右。
XPS 的样品一般是 10mm*10mm*5mm, 也可以更小些。厚度不能超过5mm. 一般我的样
品 5mm*5mm*1mm. XPS 分析室的真空度可以达到<10E-9 Pa, 因此样品要干燥，不能释放
气体。xps 的灵敏度很高，待测样品表面，绝对不能用手，手套接触。也不要清洗。
对于非导体样品，由于表面电荷的累计，我们需要打开 charge neutroliszer.
2 原理
这方面很多书上都介绍了，归根结底就是一个公式：
E(b)= hv-E(k)-W