gan及gan基薄膜的制备、表征和特性研究.pdf

文档介绍：: .
学校代码
学 号 〔
军大拿
硕 士 学 位 论 文
及 基薄膜的制备 、 表征和特性研究
院 系 信息科学与工程学院
专 业 光学
姓 名 卢意飞
指 导 教 师 吴嘉达 教授
完 成 日 期 年 月 日 : .
指导小组成员名单
吴嘉达 教 授
应质峰 副教授
孙 剑 副教授
许 宁 副教授 : .
目 录
摘要 ……
……
第一章 引言 ……
脉冲激光烧蚀和脉冲激光沉积 ……
脉冲激光烧蚀 ……
脉冲激光沉积 ……, ……, ……, ……, ……, ……
等离子体辅助脉冲激光沉积