文档介绍：. 一、分子系的内部结构 1 .高真空接口 60 .球型轴承 2 .前级真空接口 61 .半径方向防震垫圈 3 .冷却水连接 63 .轴向防震垫圈 4 .排气接口 64 .电视单元 5 .电气连接 65. 0-圈 6 .橡胶底座 72. 0-圈 10 .转子 73. 0-圈 10a .转子中心毂 80 .锁紧著 14 .安装螺帽 81. 0-圈 16. USIT 接头 82 .润滑油包 58 .螺丝 83. 0-圈 59 螺帽 84 .油包安装环二、分子泵的清洗: 一般来讲, 如果说前级泵没有问题, 而真空在规定的时间内没有达到规定的真空值或者有漏气( 排除其它的漏气)、或着解吸附作用降低, 说明真空泵有点脏了, 需要进行清洗, 这时不用进行拆卸就可以直接进行清洗,如果太脏的话,就必须进行拆卸清理了。直接清洗的方法如下: 1 .关掉分子泵,进行排气。 2 .从机器上拆下分子泵,注意不要碰到接口的边缘部分。 3 .拆掉冷却器、加热器(如果有的话)等 4 .拆掉润滑的油包 5 .将分子泵的高真空接口朝下垂直地放入一个适合的容器中。 6 .往容器中用人无水酒精,高度以前级真空接口略低为宜,如下图。. 7 .上下活动分子泵几次,便于分子泵的定子和转子的叶片清洗,在无水酒精中浸泡大概 5~10 分钟。 8 .换掉无水酒精,加入新的无水酒精,重复前面的工作,最少要重复一次。 9 .拿出分子泵。 10 .将高真空接口朝上,从垂直慢慢放倒到 180 度,以便排除磁性轴承中的酒精。 11 .用一个网格放在高真空接口上,然后朝下放置,利用一个泵抽大概 30 分钟左右。注意接口的密封表面不要损坏。 12 .接上前级真空泵,不要开分子泵,利用前级泵抽真空,达到大概 10E -1 左右,以便完全清除分子泵中残留的无水酒精。 13 .更换真空泵中的真空油,接上分子泵开始工作。注意第一次抽真空时是比较慢,这是因为分子泵中有残留的酒精,属于正常情况,不必忧虑。三、驱动马达的检查. 驱动马达的检查可以用两种方法, 一个是带带驱动单元 TCP 时用示波器看波形。一个是不带驱动器检查线路。带驱动单元 TCP 的方法操作,这里要注意一点,就是探针式的霍尔传感器是没有 0 电位的, 所以在用示波器的时候将 0V 线拔掉。切记不要同时查看 B1-B4 、 B2-B3 的波形。下面是在全速旋转时检测到 B1-B4 或 B2-B3 波形。在不带驱动单元的检测方法,这个办法主要是检测、测室外部的接线和内部的适配器。检查的时候请参考下图: . 图中的标号在外部表现的颜色为: 在霍尔元件的 G、F 之间加上一个 40MA 的恒定电流,在 B1-B4 或 B2-B3 之间接入示波器或万用表。然后用手转动分子泵。如果正常的话,测室出来的电压的极性每周会变化一次。四、更换轴承在分子泵中最容易损坏的就是轴承了, 所以更换轴承是一个主要的工作。更换轴承需要爱一个干净的环境中更换,我们一般更换的是马达这边的轴承。更换轴承需要一些特殊的专用工具。值得注意的是, 在每次更换轴承的时候, 油包也一定要更换。下面的图是一些专用工具( 真实自己可以加工的)。. 图中 A 是中心铀, B和D 都是校准用的工具,是调节间隙和位置用的。 C 是马达的拔除器。抄写的分解图如下: 1 .将分子泵放在一个平的平面上,拆下盖子 80 ,并