文档介绍：•概述
油扩散泵的工作原理与水蒸汽喷射泵相似，都是靠高速蒸汽射流来携带气体以达到抽气的目
的，故有如水蒸汽喷射泵相似的特点。不同点是扩散泵工作在高真空区域，其工作压强范围为 10-2〜10-6pa。广泛用于电子、化工、冶金、机械、石油•概述
油扩散泵的工作原理与水蒸汽喷射泵相似，都是靠高速蒸汽射流来携带气体以达到抽气的目
的，故有如水蒸汽喷射泵相似的特点。不同点是扩散泵工作在高真空区域，其工作压强范围为 10-2〜10-6pa。广泛用于电子、化工、冶金、机械、石油及原子能等工业部门中。
•油扩散泵的工作原理与结构
图3是扩散泵的结构示意图。
h尺韶 #眾厳華武 H电护 5-水停 &谨書霽 ffi S擋扩蔽復菇构示i£囲
当油蒸汽从伞形喷咀（如I级喷咀）以超音速喷岀后，其速度逐渐增大，压力及密度逐渐降低，射流上边的被抽气体 A因密度差要向蒸汽射流中扩散并被射流携带到水冷的泵壁处 B,在B处，工作蒸汽大部分被冷凝成油滴沿泵壁流回到油锅中循环使用，而被抽气体在 B处堆积、压缩，最后被下级射流携带走，以达到逐级压缩，最后被前级泵抽走。其抽速特性曲线如图 4所示。
料种5
*HCM Z
…订血二監曲g
K
3i力曲
HB碱节腔甲戎气电率耳人口低力的头条歯親
•扩散泵的性能计算
(1)
Do = l 6
D, =
——^―5-(nmi)
PaxlO_J
I—Gk+G2
129 / (mm)
P4 xlO^
D= (5-8) (mm)
阳严进"(叫陀)_2®
a
X3-i
F+T
+G
亠d-g+l
K + } 1 1
£ 肚 “d " K —1
—= M]Sin 0
珂 K + \ 1 K+l
Pi _ (K+1)M伽咋可一 2 + 住一1)M：&沪b
T2 _ (1 T? = ~
号 M：Sin询(去肠书-[)
S加B
巡-1) 1
⑺
(3)
(4)
(5)
(0
⑺
(§)
(9)
(10)
(H)
(1?
公式 com
(1)扩散泵的抽速S的计算[1]
⑷
式中3 ――蒸汽射流的平均速度
R(L)、R(O)――分别表示泵筒与喷咀帽的直径
(1)
a——蒸汽射流与泵壁的夹角
D――气体在射流中的扩散系数
(2)扩散泵每级最大压缩比(P 2/ Pl) max的计算
(5)
式中3、D——意义同(4)
L 蒸汽射流长度
(3) 蒸汽射流流谱的计算
扩散泵各级蒸汽射流的工作压强范围为 10-2〜10 -6 Pa,在这样宽的领域里，蒸汽流从连续流
向滑流、过渡流、分子流过渡。用一种理论解决上述各种流态中的问题是很困难的。通常，在连
续流领域里，可用气体动力学理论去处理，在分子流领域里，可用分子流理论去处理。然而，处理两种流态之间的问题也是很困难的。为此，在处理蒸汽流问题之前，必须弄清楚所要处理的蒸汽流是属于那种流态。
M