文档介绍：1 Centrotherm 扩散炉设备结构简介 CONTENT 1、设备基本构成 2、炉体部分 3、 Load station 4、 Gas cabinate 5、控制及监控系统基本构成— centrotherm Centrotherm 扩散炉机台主体由装载系统, TGA ,炉体部分和气源柜四部分组成。其各部分功能如下: :用于将上料台上的石英舟及未扩散硅片送入炉内,以及将扩散完成的硅片传送到上料台。 ( Toxic Gas Exhaust ):用于驱动炉门,吸收在进舟和出舟过程中可能泄漏出来的有毒气体。 :机台的核心部分,由五个炉体及相关的电源系统和控制系统组成。 :用于提供扩散工艺过程所需的各种工艺气体, 以及将扩散过程中产生的尾气通过酸排风系统排出。炉体部分— centrotherm 炉体部位包含炉体,控制柜和电源柜三个部分。炉体部位包含五根炉管,控制柜里面包含着负责工艺程序执行的 CESAR 电脑,CMS 和温度控制器,电源柜负责供给整个机台所需的动力电源。控制柜动力柜炉体控制柜 C 电脑放置处动力柜动力柜中的变压器 C 控制电脑与 C 控制电脑( Cell puter )中包含用于创建和管理 recipe C-RM ( Centrotherm Cell Control Recipe Manager ),用于对 CESAR 电脑进行集中控制。 CMS ( central machine safety ), 错误监视单元,用于监视炉内,炉外,炉体及电路的温度和冷却系统的工作状况,并将结果显示在 CMI 电脑用户界面上。 C 电脑 CESAR 控制电脑温度控制器 CESAR 控制电脑(每个炉管有一个): 其作用为:创建或更改 recipe ,定义 recipe 变量(工艺时间,温度,压力,气流), start ,stop and cancel recipe ,数字控制温度,控制气流,装载机组参数设置,与装卸系统进行通讯,监视报警/中断状况(气流,温度,压力),通过级联控制器控制温度,通过级联温度控制进行自动拉温,存储一定数量的 recipe ,记录用户定义的工艺数据,对正在运行的工艺进行测试(执行工艺步骤,更改变量,设置/重置停止点等) 温度控制器(每个炉管有一个): 采用 REG97 温度控制器,硬件部分由 controller , transducer , pulse skipping unit 组成。控制柜动力柜 UPS 电源炉体电力配置箱, 变压器动力柜,控制柜,炉体与变压器分布 Spike TC 温度测量模块 Spike TC 供电超温监控 CMS (机器安全系统) 冷却水管接口冷却水管接口 Spike TC 炉体情况接线柱