文档介绍：. FSn-150 激光平面干涉仪使用说明书南京英特飞光电技术有限公司 2007 年6月. 1 仪器简介 FSn-150 是由本公司开发的菲索型立式激光干涉仪主机,可外接图像显示器形成目视观察、判读条纹的光机型干涉仪( Marc-150 ) ,也可加装移相器、计算机等构成数字波面干涉仪( Hi-Marc-150 )。由于干涉仪对抗震要求较高,本仪器的光学系统应放置在有防震垫的工作台(光学平台或大理石平台)之上,台面一般不小于仪器高度的 倍。本仪器采用菲索干涉原理(图 2),在图像接收光路中设置了空间滤波器来改善干涉图的质量;一个变倍系统可以放大干涉图以便观察***的被测件;电控的对点、测试切换使系统更稳定、调整更方便。高精度的标准参考反射镜保证了相对测量的准确度。本仪器适合测量大口径平面光学元件的面形,无需特殊夹具。也可配各种光学调整架和辅助光学部件进行均匀性、平行差、棱镜角差等的测试。图1 Hi-Marc-150 干涉仪. 本仪器主要用途为: ?平面面形测量(非镀膜表面、高反射率镀膜表面*) ?小角度平行平晶的楔角测量?角反射器(锥体棱镜)角度误差/综合波差测量* *注:部分测量需要另配特殊夹具和软件。 2 仪器主要技术指标 电源: 220V / 50Hz 光源: He-Ne 激光器, λ= 口径: Φ 150mm 光学质量: λ/10 (平面系统, 95% 口径, P-V )* 干涉图放大: 1~5×,无级变倍 输出: 标准视频信号,可为图像采集卡直接接收 光路切换: 调整(十字叉丝)与测试(干涉图)之间为电控切换 摄像机: 高分辨力、高灵敏度、D *注1 :光学质量主要由标准参考平晶确定。本仪器标准参考平晶质量符合 1级平晶要求( GB28-2000 平晶检定规程),如有变化,请以合同约定为准。*注2 :标准参考平晶是在仪器中的状态是环形支撑,在设计、加工中我们已经考虑了自重造成的弹性变形因素。如需要取下后在其他状态下检测,请考虑加上该因素。*注 3 :与标准参考平晶配对的反射平晶,是在 70 %口径左右的环形支撑,自重 He - Ne激光器扩束镜准直物镜分光棱镜分光镜成像物镜空间滤波器十字分划板 CMOS D图2 菲索型激光干涉仪主机光学原理图. 变形不大。但在长期存放时,请保持工作面向上的状态。 3. 仪器的连接本干涉仪的电器控制部分已经装载与干涉仪后部。如图 3所示,仪器后部具有220V 电源接口、与计算机的通讯连接接口、两个视频输出接口(一个接计算机内插的图像采集卡、另一个接视频监视器)。与计算机的连接接口两个视频连接接口交流电源接口图3 干涉仪后部视图(接口与稳频激光器电源) . 3 仪器操作使用方法 开机本仪器各部件没有特定的开机顺序,但应该依次打开,不能由电源插座一次全部打开,以防电流冲击造成电气损坏。一般需要在开机后 20 分钟后再开始测试,因为 He-Ne 激光器的模式稳定需要一定的时间。刚开机时我们会发现干涉条纹在不停的漂移,有时激光器出现双模时还会使干涉图对比度下降。如果选用的是稳频激光器,还可以通过调整电流设置点,来增加干涉条纹的对比度。 光路切换光路切换是使仪器在调整(对点)状态和测试(干涉图)状态之间切换,有三个办法可以进行切换: ?干涉仪遥控盒的面板上,有切换开关( Marc 系统,图 4); ?在干涉仪上,有切换开关(图 5); ?计算机上,软件操作界面右边的软面板上,有一个转换按钮( Hi- Mar c 系统,见软件说明书)。处于调整状态时,在监视器上可看到十字叉丝、参考反射镜和测试反射镜等的反射光点。当光路中放置被测件时,也可以看到它的各个表面的反射光点。处于测试状态时,可以看到参考反射镜的整个光斑,如果测试反射镜或被测样品调整正确,则可以看到干涉条纹,并可通过条纹获得所需要的测试结果。图5 干涉仪的切换开关(门内左上方) 图4 干涉仪遥控器. 基本光路初调通过切换开关,进入调整(对点)光路,在监视器上可看到十字叉丝和多个反射光点。调整标准参考反射镜使其基本平行于平台,可以在屏幕上看到标准参考反射镜的反射光点。将调整到屏幕中央,与十字叉丝中心重合,则调整完成。 基本光路精调通过切换开关,回到测试(干涉图)光路,微调调整标准参考反射镜,使光斑无切割、变形,此时要注意不要出现杂光。 被测件调整将被测件放置到两维调整平台上,然后对其进行初调,对准光点达到重合。通过切换开关,回到测试(干涉图)光路,监视器上可见到密集的干涉条纹。观察干涉条纹是否充满全口径,如有切割,则移动被测件,然后重新进行初调,使被测件全孔径出现在监视器上。最后微调左右与俯仰二个调整螺杆,使得视场中看