文档介绍：JJF(沪苏浙皖）4001-2020
JJF(沪苏浙皖）4001-2020
附件1
JJF(沪苏浙皖)
沪苏浙皖地方计量校准规范规程
JJF（沪）4001－2020
微纳米线间隔标准样板校准规范
C维和二维微纳米光栅、特殊排列的间距结构。
引用文献
GB/T 3505—2009 产品几何技术规范（GPS）表面结构轮廓法术语、定义及表面结构参数
GB/T 10610—2009 产品几何技术规范（GPS）表面结构轮廓法评定表面结构的规则和方法
GB/T —2003 产品几何量技术规范（GPS）表面结构轮廓法测量标准第1部分：实物测量标准
GB/T —2004 产品几何量技术规范（GPS）表面结构轮廓法测量标准第2部分：软件测量标准
注：凡是注明日期的引用文件，仅注日期的版本适用于本规范；凡是不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本规范。
术语
微纳米线间隔（micro/nano-pitch）
具有微纳米级准确度和均匀性、刻线间距不大于100μm的周期性刻线，可以是一维形式，也可以是正交的二维形式。以相邻几何结构中心间距表征刻线间隔。
扫描探针显微镜（scanning probe microscope, SPM）
基于探针对被测样品进行表面形貌扫描成像的显微镜的统称。其利用探针与样品的不同相互作用来探测待测样品表面或界面在纳米尺度上表现出的物理特性和化学特性，包括原子力显微镜（atomic force microscope，AFM）、扫描隧道显微镜（scanning tunneling microscope，STM）等。
计量型扫描探针显微镜（metrological scanning probe microscope, MSPM）
具有激光干涉测量系统，测量量值能够直接溯源至激光波长的扫描探针显微镜。比如，沿X、Y、Z坐标轴分别装备校准位置误差的激光干涉测量系统的扫描探针显微镜。
重心间距（gravitycenter distance）
在线间隔扫描线上，中线以上部分的几何重心之间的距离，如图1所示。
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图1 重心间距示意图
概述
线间隔标准样板包括：微纳米的线纹标尺、CD线间隔、一维微纳米栅格结构、二维微纳米栅格结构，如一维、二维光栅，微纳米线阵列，微纳米点阵列等。
线间隔标准样板主要用于扫描探针显微镜（AFM、STM）、电子显微镜（透射电镜和扫描电镜）、轮廓仪和台阶仪等微纳米测量仪器的校准。典型的线间隔标准样板外形如图2所示。

图2线间隔标准样板示意图
计量特性
平均线间隔
以微纳米线间隔标准样板有效区域内多个刻线间距的平均值作为其平均线间隔。
表1 线间隔标准样板计量特性技术要求
序号
计量特性名称
技术要求
1
平均线间隔
平均线间隔测量不确定度：
P≤10 μm, U=2 nm+, k=2
10 μm<P≤100 μm, U=4 nm+, k=2
2
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P
2
二维线间隔正交性
MPE：±°
3
线间隔均匀性s
P≤10 μm，实验标准偏差s小于2nm
10 μm<P≤100 μm，实验标准偏差s小于6nm
注：作为校准，不判断合格与否，表1中的计量特性技术要求，仅供参考。
二维线间隔的正交性
对于二维微纳米线间隔标准样板，以二维线间隔X、Y方向的夹角作为其正交性。
线间隔均匀性
在样板有效测量区域内均匀选取多条测量线，以其一维或二维节距的多次测量结果的实验标准差给出。
校准条件
环境条件
校准过程中环境条件如表2。
表2 校准环境条件
校准室内的温度（℃）
20±3
室温的变化（℃/h）
≤
校准室的相对湿度（％RH）
≤65
校准室的空气洁净度
优于10万级
被校准样板在室内平衡温度时间（h）
＞6
校准室内应无影响测量的振动源。
测量标准及其他设备
微纳米线间隔标准样板的校准项目及相应标准器见表3。
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表3微纳米线间隔标准样板的校准项目及相应标准器
序号
校准项目
测