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文档介绍：太阳能电池工艺流程
制绒清洗
扩散
刻蚀
去PSG
PECVD
丝网印刷
烧结
测试分档
分选
包装
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制绒和清洗
2
概述
形成起伏不平的绒面,增加硅片对
太阳光的吸收
去除硅片表面的机械损伤层
清除表面油污和金属杂质
硅片表面处理的目的:
3
硅片表面的机械损伤层
硅片
机械损伤层
4
制绒:表面织构化
单晶硅片表面的
金字塔状绒面
单晶硅片表面反射率
5
绒面腐蚀原理
利用低浓度碱溶液对晶体硅在不同晶体取向上具有不同腐蚀速率的各向异性腐蚀特性,在硅片表面腐蚀形成角锥体密布的表面形貌,就称为表面织构化。角锥体四面全是由〈111〉面包围形成。
反应式为:
Si+2KOH+H2O →K2SiO3 +2H2 ↑
6
绒面光学原理
制备绒面的目的:
减少光的反射率,提高短路电流(Isc),最终提高电池的光电转换效率。
陷光原理:当光入射到一定角度的斜面,光会反射到另一角度的斜面,形成二次或者多次吸收,从而增加吸收率。
7
绒面光学原理
陷光原理图示:
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影响绒面质量的关键因素
KOH浓度
异丙醇浓度
制绒槽内硅酸钾的累计量
制绒腐蚀的温度
制绒腐蚀时间的长短
槽体密封程度、异丙醇的挥发程度
9
化学清洗原理
HF去除硅片表面氧化层:
HCl去除硅片表面金属杂质:
盐酸具有酸和络合剂的双重作用,氯离子能与 Pt 2+、Au 3+、 Ag +、Cu +、Cd 2+、Hg 2+等金属离子形成可溶于水的络合物。
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