文档介绍：原子力显微镜及其实验 (AFM)
浙江大学理学院物理系
陈老师严老师
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宇宙直径= nm
§ 背景简介—从宏观尺度到纳米世界
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成人身高= 10~25 亿 nm
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头发丝直径= 70,000 nm
血红细胞直径= 8,000 nm
可见光波长= 380~780 nm
集成电路线宽= 130 nm
氢原子直径= nm
~ 100 nm ?
换算成纳米尺度
半导体集成芯片线宽已达到极限!
纳米技术
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18世纪, 第1次产业革命(毫米技术)
20世纪, 第2次产业革命(微米技术)
21世纪, 第3次产业革命(纳米技术)
蒸气机技术
微电子技术
纳米技术
纳米技术-
下一次
产业革命浪潮
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纳米
物理学
纳米
技术
纳米
化学
纳米
材料学
纳米
生物学
纳米
电子学
纳米
量测学
纳米技术的分支学科
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扫描隧道显微镜
Binnig & Rohrer,
1982年,Scanning tunneling microscope,STM。
1986年,诺贝尔物理学奖。
原子力显微镜及其广泛应用
Binnig & Quate,
1986年,Atomic force microscope, AFM。
(1986年,诺贝尔物理学奖)
§ 扫描探针显微镜—纳米技术发展之基础
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STM扫描获得的Si(111)原子图象
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STM在Cu表面上用101个Fe原子写出的汉字“原子”。
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STM
仅适用于
导体半导体
AFM
广泛适用
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