文档介绍:传感器检测技术引言
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传感器的发展和作用
人类为了从外界获取信息, 必须借助于感觉器官。 人类依靠这些器官接受来自外界的刺激,再通过大脑分析判断, 发出命令而动作。 随着2) 按工作原理分类, 可分为应变式、 电容式、 电感式、 电磁式、 压电式、 热电式等传感器。
(3) 根据传感器使用的敏感材料分类, 可分为半导体传感器、 光纤传感器、 陶瓷传感器、金属传感器、高分子材料传感器、 复合材料传感器等等。
(4) 按照被测量分类, 可分为力学量传感器、热量传感器、 磁传感器、光传感器、放射线传感器、气体成分传感器、 液体成分传感器、离子传感器和真空传感器等等。
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(5) 按能量关系分类, 可分为能量控制型和能量转换型两大类。所谓能量控制型是指其变换的能量是由外部电源供给的, 而外界的变化(即传感器输入量的变化)只起到控制的作用。
如用电桥测量电阻温度变化时, 温度的变化改变了热敏电阻的阻值, 热敏电阻阻值的变化使电桥的输出发生变化(注意电桥的输出是由电源供给的)。
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(6) 按传感器是利用场的定律还是利用物质的定律, 可分为结构型传感器和物性型传感器。二者组合兼有两者特征的传感器称为复合型传感器。场的定律是关于物质作用的定律, 例如动力场的运动定律、电磁场的感应定律、 光的干涉现象等。 利用场的定律做成的传感器, 如电动式传感器、电容式传感器、 激光检测器等。物质的定律是指物质本身内在性质的规律。 例如弹性体遵从的虎克定律、晶体的压电性、半导体材料的压阻、 热阻、光阻、 湿阻、 霍尔效应等。利用物质的定律做成的传感器, 如压电式传感器、 热敏电阻、光敏电阻、光电管等。
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(7) 按依靠还是不依靠外加能源工作, 可分为有源传感器和无源传感器。有源传感器敏感元件工作需要外加电源, 无源传感器工作不需外加电源。
(8) 按输出量是模拟量还是数字量, 可分为模拟量传感器和数字量传感器。
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。尽管此处列出的传感器分类有较大的概括性, 但由于传感器的分类不统一, 因而这种分类很难完备, 例如有的学者将传感器作了如下分类: (1)压力; (2)力/荷重; (3)位移(厚度); (4)力矩; (5)角度; (6)角速度(转速); (7)速度; (8)加速度; (9)角加速度; (10)倾斜角; (11)编码器; (12)振动; (13)气体/烟雾; (14)温度; (15)热能; (16)湿度; (17)水份; (18)露点; (19)液位; (20)料位; (21)流量; (22)流速
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(23)风速; (24)电流; (25)电压; (26)电功率; (27)电频率; (28)接近开关; (29)磁性开关; (30)光电开关; (31)pH值; (32)电阻率; (33)电导率; (34)水溶氧; (35)生物; (36)红外线; (37)紫外线; (38)光纤; (39)离子; (40)激光; (41)超声波; (42)声音/噪声; (43)触觉; (44)图像/颜色; (45)密度/粘度; (46)混浊度。
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传感器的性能和评价
传感器的静态特性
1. 灵敏度
灵敏度是描述传感器的输出量(一般为电学量)对输入量(一般为非电学量)敏感程度的特性参数。 其定义为: 传感器输出量的变化值与相应的被测量(输入量)的变化值之比, 用公式表示为
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2. 线性度
理想的传感器输出与输入呈线性关系。 然而, 实际的传感器即使在量程范围内, 输出与输入的线性关系严格来说也是不成立的, 总存在一定的非线性。 线性度是评价非线性程度的
参数。 其定义为: 传感器的输出—输入校准曲线与理论拟合直线之间的最大偏差与传感器满量程输出之比, 称为该传感器的“非线性误差”或称“线性度”, 也称“非线性度”。 通常用相对误差表示其大小:
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图 非线性误差说明
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式