文档介绍：: .
§4工艺及器件仿真工具SILVACO-TCAD
本章将向读者介绍如何使用SILVACO公司的TCewr
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定义初始衬底参数
加Athen«()>c-
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由网格定义菜单确定的LINE语句只是为ATHENA仿真结构建立了一个直角网格系的基础。接下来需要对衬底区进行初始化。对仿真结构进行初始化的步骤如下:
a. 在ATHENACommands
菜单中选择MeshInitialize
…选项ATHENA网格初始
化菜单将会弹出。在缺省状态下,
<100>晶向的硅被选作材料;

Boron键，这样硼就成为了背景杂质;
,而在Exp
，通过滚动条或直接输入选择理想浓度值为栏中选择指数的值为14。;(也可以通过以Ohm-cm为单位的电阻系数来确定背景浓度。)
d. 对于Dimensionality一栏，选择2D。即表示在二维情况下进行仿真;
e. 对于Comment栏，输入aInitialSiliconStructurewith<100>;
f. 点击WRITE键以写入网格初始化的有关信息。
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现在，我们可以运行ATHENA以获得初始的结构。点击DECKBUILD控制栏里的run键。输出将会出现在仿真器子窗口中。语句structoutfile=.history