文档介绍：实验三表面粗糙度测量
表面粗糙度是一种微观几何形状误差，其常用的测彊方法主耍有粗糙度样板比较法、光切法、干涉法及针描法等。常用来测帚表面粗糙度的仪器有光切显微镜、干涉显微镜及电动轮廓仪等。
实验目的
掌握常用表面粗糙度的检测方法及主要
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-
系数E（pm/格）

测量步骤
（1）」，选一合适的物镜组安装在镜管卜•而。
安装物镜时，应先按卜•手柄7,插入所需物镜后，放松手柄即可。
（2）按照〈值査表3-2确定取样长度/与评定长度/“。
表3・2不同粗糙度的取样长度与评定长度
R.(pm)
取样长度/（mm）
评定长度（mm）
M0・025-

^-

M0・50-

$-

（3）通过变压器接通电源。
（4）将被测件放在工作台上，若被测件不在物镜的正卜•方，可调整工作台或松开固紧螺钉5,转动支臂
4
3进行对准。
（5）松开固紧螺钉5,转动支臂调节环4,上卜•调整，直到在被测而上能看到扁平的绿色光带,光带方向要与表而的加工痕迹垂直，这时锁紧固紧螺钉5,转动微调手轮6,直到视场中出现最清晰的亮带为止。
（6）按取样长度/移动工作台千分尺，从目镜中数出取样长度人约包含的峰谷数目。旋松测微目镜的固紧螺钉，转动测微目镜，使其中的十字线的水平线与光带轮廓中线（估计方向）平行，锁紧螺钉，然后转动测微目镜测微器上的刻度套筒，使十字线的水平线在光带最清晰的一边。在取样长度/范鬧内”找出5个最高峰点和5个最低谷点，并分别用十字线的水平线与之相切，如图3-4所示。读出十个读数a「心
•…d口填入表3-3,并按卜•式计算出10
点平均高度值:
式中。的单位为套筒格数，目镜视场内刻度每变化一格套筒转过一周（100格）。
（7）由J：零件加工表面的粗糙度不一定均匀一致，为了充分反映表而粗糙度的特性，需在评定长度/„范围内取几个取样长度进行测屋并取其平均值。
（8）按表面粗糙度国家标准，确定工件表面粗糙度是否符合标准。
表3・3测毀记录表
序号
峰
°5
5
（Um）
谷
Cl2
a4
°6
^10
1
峰
谷
2
峰
谷
4
3
峰
谷
5
注意事项
（1）小心调整仪器，防止镜头表面接触工件。
（2）测覺圆柱体工件时，应使光带落在最高素线上，才能获得最清晰的条纹。
（3）评定长度/”的人小应根据不同的加工方法和相应的/值来确定，在一般情况卜°,中等均匀程度的粗糙度其/值可从表3-2中选取；炖均匀性比较好的表面，可选用小J：5/的值，而均匀性比较差的表面，则可选用XJ"5/的值。
（三）用干涉显微镜测覺表面粗糙度
干涉显微镜结构及测屋原理
干涉显微镜是干涉仪和显微镜的组合，用光波干涉原理來反映