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《电子工业洁净厂房设计规范》
325单向流和混合流洁净室（区）的的噪声级（空态）不应大于65dB施。
，应符合现行国家标准《洁净厂房设计规范》GB50073的有关规定。
含有可燃、有毒气体或化学品的排风管道，不得设置熔片式防火阀。

2排烟系统的风管应采用不燃材料制作；
3附件、保温材料和消声材料等均应采用不燃材料或难燃材料。
生产、生活排水系统应分别设置。生产排水系统应根据电子产品生产设备排出的废水性质、污染物浓度和水晶等特点确定。有害废水应经废水处理达到国家或地方排放标准后排放。
洁净室（区）内与电子产品生产设备相连接的重力排水管道，应在排出口以下部位设置水封装置。排水系统应有完善的通气系统。
洁净厂房必须设置消防给水系统。消防给水系统的设置应符合现行国家标准《建筑设计防火规范》GB50016的有关规定。
1洁净室（区）的生产层及上下技术夹层（不含不通行的技术夹层），应设置室内消火栓；
3存放可燃气体钢瓶的特气柜中应设置自动灭火设施。

3不循环支管的长度不应大于管径的6倍：
4干管应设置清洗I」；
5管道系统必须密封，不得有渗气现象；
洁净室（区）内的可燃气体管道和有毒气体管道应明敷，穿过洁净室（区）的墙壁或楼板处的管段应设置套管，套管内的管道不得有焊缝，套管与管道之间应采取密时措施。
可燃气体管道和有毒气体管道不得穿过不使用此类气体的房间；当必须穿过时应设套管或双层管。

2不得出现不易吹除的“盲管”等死空间；
3管道系统应设置吹扫口和取样口。

1可燃气体管道设置阀门时应设置阀门箱，阀门箱应设置气体泄漏报警和事故排风装,报警装置应与相应的事故排风机联锁：
3引至室外的放散管，应设置防雷保护设施：
4应设置导除静电的接地设施。
气体纯化间（站）或气体入口室内，设有氢气等可燃气体纯化装置或管道时，气体纯化间（站）或气体入「1室的火灾危险性应按甲类确定，并应符合下列规定：
1应靠外墙设置，并应设置防爆泄压设施；
2氢气等可燃气体引入管道上应设置自动切断阳；
3应具有良好的自然通风，并应设置事故排风装置：
4应设置气体泄漏报警装置，并应与事故排风装置联锁；
5应设置导除静电的接地设施。
洁净厂房内的氧气管道等，：
1管道及阀门附件应经严格的脱脂处理：
2应设置导除静电的接地设施：
3氧气引入管道上应设置自动切断阀。
（区）分隔，隔墙上的门窗应为甲级防火门窗。

1特种气体钢瓶（含硅烷或硅烷混合物）应设置隹具有连续机械排风的特气柜中：
2排风机、泄漏报警、自动切断阀均应设置应急电源；
3一个特气分配系统供多台生产设备使用时，应设置多路阀门箱：
。储存区的设置应符合下列规定：
1储存区应至少三面敞开，气瓶应固定在钢制框架上：
2气瓶或气瓶组与周围的构筑