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电子工业洁净厂房设计规范.docx

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《电子工业洁净厂房设计规范》
325单向流和混合流洁净室(区)的的噪声级(空态)不应大于65dB施。
,应符合现行国家标准《洁净厂房设计规范》GB50073的有关规定。
含有可燃、有毒气体或化学品的排风管道,不得设置熔片式防火阀。

2排烟系统的风管应采用不燃材料制作;
3附件、保温材料和消声材料等均应采用不燃材料或难燃材料。
生产、生活排水系统应分别设置。生产排水系统应根据电子产品生产设备排出的废水性质、污染物浓度和水晶等特点确定。有害废水应经废水处理达到国家或地方排放标准后排放。
洁净室(区)内与电子产品生产设备相连接的重力排水管道,应在排出口以下部位设置水封装置。排水系统应有完善的通气系统。
洁净厂房必须设置消防给水系统。消防给水系统的设置应符合现行国家标准《建筑设计防火规范》GB50016的有关规定。
1洁净室(区)的生产层及上下技术夹层(不含不通行的技术夹层),应设置室内消火栓;
3存放可燃气体钢瓶的特气柜中应设置自动灭火设施。

3不循环支管的长度不应大于管径的6倍:
4干管应设置清洗I」;
5管道系统必须密封,不得有渗气现象;
洁净室(区)内的可燃气体管道和有毒气体管道应明敷,穿过洁净室(区)的墙壁或楼板处的管段应设置套管,套管内的管道不得有焊缝,套管与管道之间应采取密时措施。
可燃气体管道和有毒气体管道不得穿过不使用此类气体的房间;当必须穿过时应设套管或双层管。

2不得出现不易吹除的“盲管”等死空间;
3管道系统应设置吹扫口和取样口。

1可燃气体管道设置阀门时应设置阀门箱,阀门箱应设置气体泄漏报警和事故排风装,报警装置应与相应的事故排风机联锁:
3引至室外的放散管,应设置防雷保护设施:
4应设置导除静电的接地设施。
气体纯化间(站)或气体入口室内,设有氢气等可燃气体纯化装置或管道时,气体纯化间(站)或气体入「1室的火灾危险性应按甲类确定,并应符合下列规定:
1应靠外墙设置,并应设置防爆泄压设施;
2氢气等可燃气体引入管道上应设置自动切断阳;
3应具有良好的自然通风,并应设置事故排风装置:
4应设置气体泄漏报警装置,并应与事故排风装置联锁;
5应设置导除静电的接地设施。
洁净厂房内的氧气管道等,:
1管道及阀门附件应经严格的脱脂处理:
2应设置导除静电的接地设施:
3氧气引入管道上应设置自动切断阀。
(区)分隔,隔墙上的门窗应为甲级防火门窗。

1特种气体钢瓶(含硅烷或硅烷混合物)应设置隹具有连续机械排风的特气柜中:
2排风机、泄漏报警、自动切断阀均应设置应急电源;
3一个特气分配系统供多台生产设备使用时,应设置多路阀门箱:
。储存区的设置应符合下列规定:
1储存区应至少三面敞开,气瓶应固定在钢制框架上:
2气瓶或气瓶组与周围的构筑

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