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衡量伺服系统性能的主要指标有频带宽度和精度。频带宽度简称带宽，由系统频率响应特性来规定，反映伺服系: .
衡量伺服系统性能的主要指标有频带宽度和精度。频带宽度简称带宽，由系统频率响应特性来规定，反映伺服系统的跟踪的快速性。带宽越大，快速性越好。
伺服系统的带宽主要受控制对象和执行机构的惯性的限制。惯性越大，带宽越窄。
一般伺服系统的带宽小于15赫，大型设备伺服系统的带宽则在1〜2赫以下。白20世纪70年代以来，由于发展了力矩电机及高灵敏度测速机，使伺服系统实现了直接驱动，革除或减小了齿隙和弹性变形等非线性因素，使带宽达到50赫，并成功应用在远程导弹、人造卫星、精密指挥仪等场所。伺服系统的精度主要决定于所用的测量元件的精度。因此，在伺服系统中必须采用高精度的测量元件，如精密电位器、白整角机、旋转变压器、光电编码器、光栅、磁栅和球栅等。此外，也可采取附加措施来提高系统的精度，例如将测量元件
(如白整角机)的测量轴通过减速器与转轴相连，使转轴的转角得到放大，来提高相对测量精度。采用这种方案的伺服系统称为精测粗测系统或双通道系统。通过减速器与转轴啮合的测角线路称精读数通道，直接取白转轴的测角线路称粗读数通道。
(1) 位置伺服系统的主要控制目标是输出值迅速跟踪指令值的变化。应用场合不同，对伺服系统的具体要求也会有所差异，但是大体要求是基本一致的，具体来说，在机电一体化产品中，对伺服系统的性能指标要求主要包括定位精度
系统最终定位点与指令目标值之间的静态误差即为定位精度，定位精度是评价位置伺服系统定位准确度的一个关键指标。对白带码盘、性能优异的交流伺服系统而言，应当满足±1个