文档介绍：用于自平衡电容器电桥的读出电路的制作方法
用于自平衡电容器电桥的读出电路的制作方法
一种电容换能器和一种用于处理来自电容换能器的信号的读出电路。所述读出电路包括高增益电路元件、两个求和放大器和两个反馈路径。所述高增益电路元件生成经放大的隙g(l，从而在第一可变电容器C1和第二可变电容器C2中建立基本·相等的电容。输入加速度使质量块102相对于所述衬底移动，其改变所述电极之间的缝隙，因而改变可变电容器Cp C2的电容。沿箭头120的方向的加速度使质量块102偏移与输入加速度成比例的距离ΛΧ。质量块102的这一移动使第一电极110和公共电极108之间的距离增大到gc^Ax，使第二电极112和公共电极108之间的距离降低至go-Λχ，这改变了电容器C1和C2的电容。通过下式确定可变电容器C1和C2的电容C:
【权利要求】
，所述读出电路用于处理来自电容换能器的换能器信号并且生成电路输出信号，所述读出电路包括: 高增益电路元件，所述高增益电路元件接收所述换能器信号并且生成经放大的换能器信号; 通过有源电路实现的第一求和放大器，所述第一求和放大器对所述经放大的换能器信号和正参考电压求和并且生成第一求和信号； 通过有源电路实现的第二求和放大器，所述第二求和放大器对所述经放大的换能器信号和负参考电压求和并且生成第二求和信号，所述负参考电压与所述正参考电压具有基本相同的幅值，但是具有相反的极性； 第一反馈路径，所述第一反馈路径将所述第一求和信号反馈回所述电容换能器； 第二反馈路径，所述第二反馈路径将所述第二求和信号反馈回所述电容换能器；以及 输出电路，所述输出电路基于所述第一求和信号和所述第二求和信号生成电路输出信号。
，其中，所述高增益电路元件是开关电容器积分器。
，其中，所述第一求和放大器和所述第二求和放大器中的每一个都包括运算放大器。
，其中，将至所述第一求和放大器的所述经放大的换能器信号和所述正参考电压耦合至所述第一求和放大器的运算放大器的反相输入端。
，还包括使所述经放大的换能器信号反相的反相放大器。`
，其中，所述输出电路生成作为所述第一求和信号和所述第二求和信号的平均值的电路输出信号。
，所述读出电路用于处理来自电容换能器的换能器信号并且生成电路输出信号，所述读出电路包括: 正向路径，所述正向路径包括高增益电路元件、第一求和放大器和第二求和放大器，所述高增益电路元件接收所述换能器信号并且生成经放大的换能器信号，所述第一求和放大器对所述经放大的换能器信号和正参考电压求和并且生成第
一求和信号，所述第二求和放大器对所述经放大的换能器信号和负参考电压求和并且生成第二求和信号，所述负参考电压和所述正参考电压具有基本相同的幅值，但是具有相反的极性； 第一反馈路径，所述第一反馈路径将所述第一求和信号反馈回所述电容换能器； 第二反馈路径，所述第二反馈路径将所述第二求和信号反馈回所述电容换能器；以及 输出电路，所述输出电路基于所述第一求和信号和所述第二求和信号生成电路输出信号。
，其中，所述高增益电路元件