文档介绍：用于测量物理量的测量装置制造方法
用于测量物理量的测量装置制造方法
本发明公开了一种用于测量物理量的测量装置(100)。该物理量可以是压力和/或作用力。测量装置包括具有膜片区段(102A)的圆形感测结构(102)，当作用到圆形感测结构(
[0030]图6示出了感测电元件的第一实施例；
[0031]图7示出了感测电元件的第二实施例；
[0032]图8示意性地示出了细合型温度和压力测量装置的剖视图；图9示出了根据第一实施例的图8所示圆形感测结构的俯视图；
[0033]图10示出了根据第二实施例的图8所示圆形感测结构的俯视图；
[0034]图11示意性地示出了另一压力测量装置的剖视图；和
[0035]图12示出了图11所示圆形感测结构的俯视图。
【具体实施方式】
[0036]图1示意性地示出了用于测量流体中压力的压力测量装置100的剖视图。流体可以是气体或液体的形式。装置100具有压力测量塞的形式，并包括圆形感测结构102。圆形感测结构102包括具有外螺纹的塞体区段150，所述外螺纹用于将压力测量装置100安装到发动机或设备的孔中。该圆形感测结构进一步包括膜片区段102八。膜片区段102八位于塞体区段150的近侧端部处。塞体区段150包括从近侧端部到远侧端部的通路160。流体的压力通过该通路可作用到膜片区段102八上。应变计120附接至膜片区段102八的外侧。该外侧是膜片区段102八的与该膜片区段接触流体经由通路160的表面相对的表面。
[0037]应变计120构造用于测量膜片区段102八的表面中的应变。该应变计可以具有压阻元件的形式。这种类型的应变计比金属应变计具有更高的应变计灵敏系数(即)。但是，本发明的观点也可应用到具有金属应变计的压力测量装置或作用力测量装置。图5示出了包括两个应变计51、52的现有技术感测电元件50的布局。应变计构造用于测量沿着感测电元件50的长度轴线的应变。三个联结路径50八、508和500位于感测电元件的第一应变计51和第二应变计52之间。因为应变计的工作原理是公知的，因此不再进一步详细说明。应变计的特点在于可以测量特定方向上的应变。应变计可以具有微熔硅应变计的形式。在该方法中，硅1213应变计元件通过玻璃联结至不锈钢隔膜。(毫米)。
[0038]图4示出了与半径相关的径向应变和切向应变的图表。正应变是具有正值的应变，并对应于表面中特定方向上的拉伸。负应变是在图表中具有负值的应变，并对应于表面,切向应变。应变计103和105通过图5所0应变。这些现有技术应变计定位成其长度I 5所示现有技术感测电元件的一个应变计6长度轴线与径向方向垂直。
3第二实施例的圆形感测结构的俯视图。这1个感测电元件107附接至膜片区段的表面I由第一部分103八和第二部分1038形成芒计104测量第二方向上的应变。第二方向；图6所示感测电元件在其上测量径向和切径向方向上测量负应变。
洛径107八、第二联结路径1078和第三联结第三联结路径之间。第一应变计的第一部，第一应变计的第二部分1038位于第二联寺第一、。联结路径107八、1078和丨联结路径的对应尺寸和位置。这样使得能的剖视图。该测量装置包括附接至带螺纹本体部分8