文档介绍：X 射线荧光光谱仪定量分析方法
利用 X射线荧光光谱仪分析物质组分时，除了正确使用和操作 X射线荧光光
谱仪外，还需要研究制定合理、准确的定量分析方法。定量分析是要利用一定的
实验或 ji α
α = I / I
ji j
与之相似：
= I / Ii
β ij
又设脚标 net 和 lap 分别代表净强度和测定的重叠峰强度，则计算谱峰净强
度的公式为：
I lap = I net ＋ I net
i i α j
I lap = I net ＋ I net
j j β i
I net = I lap－ I net
i i α j
= I lap－ I lap ＋ I net
i α j α β i
= I lap－ I lap
i α j
式中最后忽略了二次项的影响。由于干扰谱线 j 的谱峰离 i 元素的谱峰位置
足够远，效果更好。
三、浓度计算
在扣除背景和干扰，获得分析元素的谱峰净强度后，即可在分析谱线强度与
标样中分析组分的浓度间建立起强度-浓度定量分析方程。利用这类方程即可进
行未知样品的定量分析。
对于简单体系，例如可以忽略基体效应的薄样或一定条件下的微量元素分
析，可以在谱峰净强度和浓度间建立简单的线性或二次方程。而对于复杂体系中
的主、次、痕量元素分析，如地质样品，则需要进行基体校正，才能获得准确结
果。
X 射线荧光光谱分析的最大特点是制作技术简单，但需要进行复杂的基体校
正，才能获得定量分析数据， XRF 分析的最大局限是依赖标样。
体效应
除质量衰减吸收外，当入射线能量大于分析元素的吸收边时，样品中的元素
对入射线会产生强烈吸收。当样品中受激元素分析谱线的能量大于某一共存元素
的谱线激发能时，该共存元素也会强烈吸收分析谱线。被吸收的这部分分析谱线
强度不能出射样品，使得分析谱线强度降低，从而偏离理想线性方程，如图