文档介绍：工业机器的制作方法
专利名称：工业机器的制作方法
技术领域：
本发明涉及一种具有由空气驱动的驱动机构的工业机器。
背景技术：
传统地，已知例如三维测量机等工业机器，在该工业机器中，采用从空气供给器供给的空气的空气压力来驱动移动机构所示的空气调节器组沈(空气供给路径)，其用于将空气供给器7连接到移动机构22。移动机构22包括滑动机构M，其在保持探针21的基端侧的
状态下使探针21滑动移动；和驱动机构25，其通过驱动滑动机构M使探针21移动。滑动机构M包括两个立柱M1，其从基座23的在X轴方向上的两端沿+Z轴方向延伸，并且设置成可沿Y轴方向滑动；梁对2，其由立柱241支撑且沿X轴方向延伸；滑动件对3，其形成为沿Z轴方向延伸的筒状，并且设置成可沿X轴方向在梁242上滑动；和滑枕(ram) M4，其在插入到滑动件M3内部的状态下以可沿Z轴方向在滑动件M3内滑动的
方式设置。驱动机构25包括Y轴驱动部25Υ，其在支撑两个立柱Ml中的位于-X轴方向侧的立柱241的状态下使该立柱241沿Y轴方向滑动；X轴驱动部25Χ，其通过使滑动件243 在梁242上滑动而使滑动件243沿X轴方向移动；和Z轴驱动部(图1未示出)，其通过使滑枕244在滑动件Μ3内滑动而使滑枕244沿Z轴移动。这些驱动机构25均包括驱动马达(驱动源)(图中未示出)；和驱动传递机构(图中未示出)，其将从驱动马达供给的驱动力传递到滑动机构24，以利用驱动马达的驱动力使立柱Ml、滑动件243和滑枕244滑动。 此外，驱动机构25均包括空气轴承(图中未示出)，从空气调节器组沈供给的空气可以导入该空气轴承。当滑动机构M通过驱动马达的驱动力而滑动时，这些空气轴承具有减小驱动阻力的功能。如图2所示，空气调节器组沈包括连接到空气供给器7的进气口 261和连接到驱动机构25的空气轴承的出气口沈2。此外，在空气调节器组沈的进气口 261和出气口 262 之间设置用于使空气供给路径在打开状态和关闭状态之间切换的电磁阀263。电磁阀263 的操作被动作控制器3控制，电磁阀263在空气供给路径被阻断从而停止从出气口沈2向驱动机构25释放空气的空气停止状态与空气供给路径被打开从而将从进气口 261导入的空气从出气口 262释放至驱动机构25的空气供给状态之间进行切换。此外，在空气调节器组沈的电磁阀沈3与出气口 262之间设置压力开关沈4。压力开关264检测出气口 262处的空气压力，并输出与该空气压力相对应的压力检测信号。作为控制器，动作控制器3包括驱动控制器31，其控制驱动机构25 ；和信号检测器32，其检测从设置于驱动机构25的传感器(图中未示出)输出的信号。驱动控制器31 基于操作器4被操作时输入的操作指令信号和从主计算机5输入的操作指令信号来控制驱动机构25的操作。此外，当操作器4被操作时，驱动控制器31向主计算机5输出操作信号。 此外，基于从主计算机5输入的待机指令信号或操作指令信号，驱动控制器31控制电磁阀的操作，以使电磁阀在空气停止状态和空气供给状态之间进行切换。信号检测器32检测从每个传感器输出的信号，以检测滑动机构M的移位量，并将该移位量输出到主计算机5。此外，信号检测器32检测从压力开关264输出的压力检测信号，并将该压力检测信号输出到主计算机5。主计算机5被构造为包括CPU (中央处理器)和