文档介绍：一、分子系的内部构造
高真空接口 60．球型轴承
前级真空接口 61．半径方向防震垫圈
冷却水连接
排气接口
轴向防震一、分子系的内部构造
高真空接口 60．球型轴承
前级真空接口 61．半径方向防震垫圈
冷却水连接
排气接口
轴向防震垫圈
电视单元
5．电气连接
65．0-圈
6．橡胶底座
72．0-圈
10．转子
73．0-圈
10 a．转子中心毂
80．锁紧著
14．安装螺帽
81．0-圈
16．USIT 接头
82．润滑油包
58．螺丝
83．0-圈
59 螺帽
84．油包安装环
二、分子泵的清洗：
一般来讲，假设说前级泵没有问题，而真空在规定的时间内没有到达规定的真空值或者有漏气〔排解其它的漏气〕、或着解吸附作用降低，说明真空泵有点脏了，需要进展清洗，这时不用进展拆卸就可以直接进展清洗，假设太脏的话，就必需进展拆卸清理了。直接清洗的方法如下： 1．关掉分子泵，进展排气。
从机器上拆下分子泵，留意不要遇到接口的边缘局部。
拆掉冷却器、加热器〔假设有的话〕等
拆掉润滑的油包
将分子泵的高真空接口朝下垂直地放入一个适合的容器中。
往容器中用人无水酒精，高度以前级真空接口略低为宜，如以下图。
上下活动分子泵几次，便于分子泵的定子和转子的叶片清洗，在无水酒精中浸泡或许 5～10 分钟。
换掉无水酒精，参加的无水酒精，重复前面的工作，最少要重复一次。
拿出分子泵。
将高真空接口朝上，从垂直渐渐放倒到 180 度，以便排解磁性轴承中的酒精。
用一个网格放在高真空接口上，然后朝下放置，利用一个泵抽或许 30 分钟左右。留意接口的密封外表不要损坏。
接上前级真空泵，不要开分子泵，利用前级泵抽真空，到达或许 10E－1 左右，以便完全去除分子泵中残留的无水酒精。
更换真空泵中的真空油，接上分子泵开头工作。
留意第一次抽真空时是比较慢，这是由于分子泵中有残留的酒精，属于正常状况，不必忧虑。三、驱动马达的检查
驱动马达的检查可以用两种方法，一个是带带驱动单元 TCP 时用示波器看波形。一个是不带驱动器检查线路。
带驱动单元 TCP 的方法操作，这里要留意一点，就是探针式的霍尔传感器是没有 0 电位的，所以在用示波器的时候将 0V 线拔掉。切记不要同时查看 B1-B4、B2-B3 的波形。下面是在全速旋转时检测到 B1-B4 或 B2-B3 波形。
在不带驱动单元的检测方法，这个方法主要是检测、测室外部的接线和内部的适配器。检查的时候请参考以下图：
图中的标号在外部表现的颜色为：