文档介绍：４８ 传感器与微系统（Ｔｒａｎｓｄｕｃｅｒ ａｎｄ Ｍｉｃｒｏｓｙｓｔｅｍ Ｔｅｃｈｎｏｌｏｇｉｅｓ） ２０２２ 年 第 ４１ 卷 第 ７ 期
ｔｈｉｓ ｐｒｏｂｌｅｍ，ｆｉｖｅ ｋｉｎｄｓ ｏｆ ｉｎｓｕｌａｔｉｎｇ ｌａｙｅｒ ｍａｔｅｒｉａｌｓ ｗｉｔｈ ｄｉｆｆｅｒｅｎｔ ｓｉｎｔｅｒｉｎｇ
ｓｈｒｉｎｋａｇｅ ｒａｔｉｏｓ ａｒｅ ｕｓｅｄ ｔｏ ｐｒｅｐａｒｅ ｔｈｅ ｌｉｍｉｔｉｎｇ ｃｕｒｒｅｎｔ ｏｘｙｇｅｎ ｓｅｎｓｏｒ ｔｈｒｏｕｇｈ ｔｈｉｃｋ ｆｉｌｍ ｓｃｒｅｅｎ ｐｒｉｎｔｉｎｇ，
ｌａｍｉｎａｔｉｏｎ ｈｏｔ ｐｒｅｓｓｉｎｇ，ａｎｄ ｍｕｌｔｉ-ｌａｙｅｒ ｃｏ-ｆｉｒｉｎｇ． Ｔｈｅ ｒｅｌａｔｉｏｎｓｈｉｐ ｂｅｔｗｅｅｎ ｍｏｒｐｈｏｌｏｇｙ ｏｆ ｐｏｒｅ ｓｔｒｕｃｔｕｒｅ ｏｆ ｔｈｅ ｃｏｒｅ
ｂｏｄｙ ａｎｄ ｏｕｔｐｕｔ ｃｈａｒａｃｔｅｒｉｓｔｉｃｓ ｉｓ ａｎａｌｙｚｅｄ． Ｔｈｅ ｒｅｓｕｌｔｓ ｓｈｏｗ ｔｈａｔ ｔｈｅ ｄｉｆｆｅｒｅｎｃｅ ｂｅｔｗｅｅｎ ｔｈｅ ｓｉｎｔｅｒｉｎｇ ｓｈｒｉｎｋａｇｅ ｏｆ
ｔｈｅ ｉｎｓｕｌａｔｉｎｇ ｌａｙｅｒ ｍａｔｅｒｉａｌ ａｎｄ ｔｈｅ ｓｉｎｔｅｒｉｎｇ ｓｈｒｉｎｋａｇｅ ｏｆ ｔｈｅ ｓｕｐｐｏｒｔ ｌａｙｅｒ ｉｓ ２． ４３ ％ ，ａｎｄ ｔｈｅ ｄｉｆｆｅｒｅｎｃｅ ｂｅｔｗｅｅｎ
ｔｈｅ ｓｉｎｔｅｒｉｎｇ ｓｈｒｉｎｋａｇｅ ｏｆ ｔｈｅ ｓｅｎｓｉｔｉｖｅ ｌａｙｅｒ ａｎｄ ｔｈｅ ｓｅｎｓｉｔｉｖｅ ｌａｙｅｒ ｉｓ ３． ９７ ％ ，ｄｅｌａｍｉｎａｔｉｏｎ ｃｒａｃｋｉｎｇ ｐｈｅｎｏｍｅｎｏｎ
ｉｎ ｈｏｌｅ ｓｔｒｕｃｔｕｒｅ ｏｆ ｃｏｒｅ ｏｆ ｏｘｙｇｅｎ ｓｅｎｓｏｒ． Ｔｈｅ ｃｏｒｅ ｈａｓ ａ ｇｏｏｄ ｃｕｒｒｅｎｔ ｐｌａｔｆｏｒｍ ｉｎ ｔｈｅ ａｔｍｏｓｐｈｅｒｅ ｏｆ Ｏ２ ｖｏｌｕｍｅ
ｆｒａｃｔｉｏｎ ｏｆ ２０ ％ ，ａｎｄ ｔｈｅ ｃｕｒｒｅｎｔ ｃｈａｎｇｅ ｉｓ ０． １３５ μＡ ｉｎ ｔｈｅ ｗｏｒｋｉｎｇ ｖｏｌｔａｇｅ ｒａｎｇｅ ｏｆ ０． ５～１． ６ Ｖ．
Ｋｅｙｗｏｒｄｓ：ｃｏ-ｓｉｎｔｅｒｉｎｇ；ｌｉｍｉｔｉｎｇ ｃｕｒｒｅｎｔ；ｏｘｙｇｅｎ ｓｅｎｓｏｒ；ｓｉｎｔｅｒｉｎｇ ｓｈｒｉｎｋａｇｅ
０ 引 言 为支撑层、Ａｌ２ Ｏ３ 作为绝缘层，不仅降低了工艺的难度，且
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氧化锆极限电流型氧传感器以其稳定性好、响应快、能