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关于某5级洁净室改造设计的探讨.doc

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文档介绍:关于某5级洁净室改造设计的探讨

摘要:本文对洁净室改造设计存在问题及要求,改造设计的思路原则,工程改造设计说明以及控制设计说明进行了简单的分析和阐述,对某5级洁净室改造设计进行探讨。

关键词:洁净室;改造设计 关于某5级洁净室改造设计的探讨

摘要:本文对洁净室改造设计存在问题及要求,改造设计的思路原则,工程改造设计说明以及控制设计说明进行了简单的分析和阐述,对某5级洁净室改造设计进行探讨。

关键词:洁净室;改造设计
5级洁净室平面已经在某精密光学工程研究中心建成的,分为内、外两间,对其洁净度、空气温度和相对湿度有所保证的就是分别由其上部硬吊顶内设置的二台组装室空调系统JK-1及JK-2。混合新风和回风、过滤初效、降温去湿(或加热)、加压、中效过滤处理后通过管道送入洁净室上部软吊顶静压箱再通过满布高效过滤器和稳压孔板进入洁净室,回风由二侧回风夹道下部的百合回风经回风管道回至空调器混合段,就是空气过程。空调冷源为集中设置的风冷模块式冷(热)水机组(每个模块制冷量为110kw共6个模块,合计为660kw)供空调用冷水或热水。
一、存在问题及要求
把实验工艺要求去掉两个5级洁净间的隔断作为依据,并且把其中的一个清洗间间隔出来,剩下的部分就是涂膜间。
空气的洁净度要求是5级,20±2℃是室内温度,小于40%是相对湿度。另外,甲苯、正丁醇等有机溶剂是在清洗间使用的;涂膜间正常工作就是清洗间间歇使用,使用时间很少。这个5级洁净室在建成以后基本上都没有使用过,存在的主要问题之一是:空调系统对相对湿度小于40%要求的没有保证。通过对这个中心集中冷源供冷水温度一般为9℃左右要有所了解和知道。第二个就是:这个5级洁净室设施工安装也都差不多一样,满布有隔板高效过滤器机械压紧式安装,130mm是过滤器和过滤器之间间隔宽度;尤其是高效过滤器出风面500~600是四周照明灯带的宽度。所以,小于65%是高效过滤器的满布率,盲区所形成的涡流区范围大,对于全性的5级洁净度的要求根本实现不了,特别是工艺设备的布置与使用被周边区的照明灯带盲区。
二、改造设计的思路原则
这个中心的冷源供水温度一般为9℃左右在上面已经有过相应的论述,很明显的就是,9℃的冷水先不说,就算是PJ的冷水也对相对湿度<40%的要求也没有办法实现。把这个冷冻站所供的洁净空调面积及工艺情况作为依据,经过粗略地对冷量进行核算以后是足够的,至于比较高的供水温度,可能是因为系统配套的冷冻水循环水泵的流量过于大,扬程过高所致。所以,改造设计应该在对现有冷源及空调系统进行利用的基础上,对解决问题的方案进行寻求,以求得对工艺要求有所满足,又对投资有所节约的目的。
三、工程改造设计说明
1、洁净室部分
在工艺区内将内、外间的隔断去掉作为依据,外移风淋室,可以对房间进行净化,清洗间要在内间左上角有2.5x1.6的空间隔出。对液槽密封方式重新进行采取,对满布无隔板高效过滤器进行安装,50mm是液槽的宽度,将四周的照明灯带去掉,在液槽内设置泪珠式洁净化灯,从而对高效过滤器的满布率进行提高,对涡流区围大大地进行了缩小,对真正的全室性5级洁净度有所实现,提供给工艺设备的布置和使用的灵活性。对二侧回风夹道上的回风口面

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上传人:彩凤w 7/30/2022 文件大小:15 KB

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