文档介绍：1 2”集成电路厂房洁净室设计探讨
2017-08-25 
0 引言  
    集成电路(IC)是集多种高新技术于一体的高科技产品，它几乎存在于所有工业部门，对国民经济的发展起着“倍增器”的作用，因此被先进国家作为战略性产业。同时Init system)，如图6、7、8。
    这三种送风系统各有特点，从不同的角度比较会得出不同的结论，所以不能简单地说孰优孰劣，送风系统方式的采用主要取决于业主、设计人员的关注点侧重于哪些方面。不过FFU系统近几年来得到越来越广泛的使用，尤其是在亚太地区。国内也不例外，已建的和在建的8”、12”IC生产厂房几乎都采用FFU系统，很多5”、6”IC生产厂房近几年也采用FFU系统。究其原因，除了****惯、经验等非技术性因素之外，不外乎有以下几个原因：     
    a)灵活性：在三种系统中，FFU系统的灵活性是最好的，这点特别适应当今IC生产技术飞速发展的要求，由于随着产品生产工艺的发展洁净度等级需求也会不断严格。隧道系统几乎谈不上灵活性，且隧道系统是以操作区作为送风、设备区作为回风的空气循环系统，但8”、12”IC厂房洁净室目前基本上都采用Ballroom方式，不分操作区和设备区，因此隧道系统也就不适用了；集中送风系统有一定的灵活性，但洁净系统改造时必须停机、停产。如果要提高局部区域的洁净度，除了洁净室顶部要增加HEPA／ULPA过滤器外，还需增设循环机组，从而使改造难度大，而且对生产有较大影响；采用FFU系统，局部增加FFU台数或移动FFU位置均很容易实现，而且可以在不停产的情况下进行，对生产几乎没有影响。     
    b)调控性：和集中式送风系统相比，FFU系统各区空气交叉的情况相对要少，可以实现较高精度的温湿度控制。随着电机与网络控制技术的发展，FFU很容易实现单台控制，每台FFU出风速度在一定范围内几乎可以任意调节，这样就很容易解决大跨度洁净室远近端气流不均匀的问题。另外FFU还可以根据实际使用需要停开或少开启一部分。 
    c)可靠性：采用集中送风系统只要一台送风机组出现故障，整个系统的洁净度就得不到保证，除非有备用机组能立即投入运行；对于隧道系统一旦某一台循环机组停止运行，该
循环机组所负担的洁净区域的洁净度、温湿度就无法保证，生产也只好停止；而FFU系统这方面的风险相对要小得多，即使有一台FFU出现故障，其影响面很小。另外随着网络监控技术的发展，FFU系统因数量多而造成维护不便的情况也已得到改善。     
    d)气密性与空间利用：FFU系统由于风机直接设在工作区上方，因此工作区相对于回风道及上静压箱为正压，工作区以外污染物极少因泄漏进入工作区；相反的，集中送风系统和隧道系统工作区相对于上静压箱为较大的负压，因此泄漏的风险性比FFU系统要高得多。另外采用集中送风系统及隧道系统，上静压箱与周围环境的压差很大，极易发生空气泄漏，因此对上静压箱的气密性要求很高，基本上不允许管线进入。而FFU系统的上静压箱相对于周围环境只是微正压，上静压箱内可以布置或穿越诸如排风和排烟等管道，使空间得到合理利用。 
    e） 能耗问题：一些统计资料表明，在IC厂房中，维持生产环境洁净度的空气循环过滤系统是除工艺设备外的耗能最大的系统，所以采用何种送风系统其能耗也是必须考虑的因