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洁净室规范对设备材料的要求.pdf

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洁净室规范对设备材料的要求.pdf

文档介绍

文档介绍:洁净与空调技术CC&AC 2004年第2期 P44~48
洁净室规范对设备材料的要求
中国电子工程设计院陈霖新☆
应为高级抹灰,养护时间应充分;
·面层涂料应为难燃、不开裂、耐清洗、表面光滑;
·涂料不易吸水变质发霉;
·不得采用受热、湿影响产生变形、霉变、粉化的材料;
·不得采用可持续挥发有机化学物质的材料。
③门、窗
·当洁净室(区)设外窗时,应采用双层固定窗,并应有良好气密性;
·构造和施工缝隙,均应采取可靠的气密措施;
·窗宜与墙面齐平,不宜设窗台;
·门应避免水平面,表面无突纹,不用门坎;
·门应减少五金部件的磨损、易于清洁;
·洁净区与非洁净区或与室外相通的安全疏散门应加闭门器;
·安全疏散门不应采用门、吊 转门、侧拉门、卷帘门和电控自动门。
④地面
·应满足产品生产工艺要求;
·应平整、耐磨、易清洗、防滑;
·不易积聚静电,避免眩光;
·不开裂;
·地面垫层宜配筋,潮湿地区应防潮;
·格栅地板、多孔地板。
(4)空气净化系统设备、材料
①空气净化设备的能力确定与下列因素有关:
·空气洁净度等级、气流流型;
·产品生产特点;
·净化空调系统的划分;
·拟采用的设备特性。
②气流流型与送风量
·气流流型应满足空气洁净度等级要求;
·工作区的气流速度应满足产品生产工艺要求;
·工作区的气流分布应均匀;洁净与空调技术CC&AC 2004年第2期 P44~48
·洁净室送风量应取下列三项中的最大值;
-为达空气洁净度等级的洁净送风量;
-按热湿负荷计算的送风量;
-洁净室所需新鲜空气量。
③空气过滤器
·根据空气洁净度等级合理选用;
·处理风量应小于或等于额定风量;
·三阶段空气过滤:
室外空气的预过滤(粗、中、化学法等);
空气处理装置内空气过滤(中高、亚高、化学法等);
最终过滤(高、超高)。
·同一洁净室(区)内的“高效”的阻力、效率应相近;
·“高效”安装前应进行检漏(严于 5 级),安装应严密,易于更换;
·洁净室和净化空调系统清洁,并连续试运转后,才能安装“高效”。
表 1 气流流型和送风量 (静态)
空气洁净度等级 气流流型 平均风速(m/s) 换气次数(h-1)
1~4 单向流 ~ --
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