文档介绍：Ct扩散炉结构简介
CESAR控制电脑
温度控制器
CESAR 控制电脑(每个炉管有一个):
其作用为：创建或更改recipe， 定义recipe变量（工艺时间，温度，压力，气流），start，stop and canceCt扩散炉结构简介
CESAR控制电脑
温度控制器
CESAR 控制电脑(每个炉管有一个):
其作用为：创建或更改recipe， 定义recipe变量（工艺时间，温度，压力，气流），start，stop and cancel recipe，数字控制温度，控制气流，装载机组参数设置，与装卸系统进行通讯，监视报警/中断状况（气流，温度，压力），通过级联控制器控制温度，通过级联温度控制进行自动拉温，存储一定数量的recipe，记录用户定义的工艺数据，对正在运行的工艺进行测试（执行工艺步骤，更改变量，设置/重置停止点等）
温度控制器（每个炉管有一个）：
采用REG97温度控制器，硬件部分由controller，transducer，pulse skipping unit组成。
控制柜
动力柜
UPS电源
炉体
电力配置箱，变压器
动力柜，控制柜，炉体与变压器分布
Spike TC
温度测量模块
Spike TC 供电
超温监控
CMS（机器安全系统）
冷却水管接口
冷却水管接口
Spike TC
炉体情况
接线柱
Spike TC
Spike TC（包含两根热偶，一根用于超温报警，一根用于工艺控温）
石英管
工艺气体进气管
Paddle TC放置口
尾气管放置
炉丝及炉管
炉丝与接线柱接口设计
炉门控制系统-TGA
Centrotherm的炉门系统由专门的控制装置TGA（Toxic Gas Exhaust），其上有热排风来抽走炉门开关过程中可能释放出的有毒气体和热量。
TGA
炉门开关驱动电机
炉门进出驱动电机
炉门装置
Load station
Centrotherm扩散炉的装载系统由冷却箱，桨及桨托，传送带系统，手动上料台，lift，store shelf，真空吸笔装置，过滤箱，CMI电脑以及相关的控制电路组成。
手动上料台
冷却箱
CMI电脑
：centrotherm的桨托起到固定桨的作用，而桨的高低位则通过升降整个传送系统来实现；
Centrotherm桨托
桨
控制桨高低位的电机
控制桨高低位的联动装置
：centrotherm是利用固定在一侧的传送皮带带动桨托运动；
Centrotherm的传送皮带
皮带传送电机
：centrotherm的lift能实现上下和前后运动，石英舟的左右运动则是依靠下方的传送带实现；
Centrotherm的lift，只能上下和前后运动
装载系统下的传送带
：centrotherm的储存架位于lift同一位置，一共七个（由于储存架尚未安装，此数量是从store架的形状看出）；
Centrotherm储存架位置
：centrotherm的装载系统，recipe管理系统，程序运行和执行均由同一显示界面控制；
Centrotherm的控制界面
：centrotherm装载系统顶部有一个冷却箱，配有真空吸笔接口；
真空吸笔接口
Centrotherm冷却箱
7. 净化风机位置：位置相同，都位于装载系统下部，但形状不一样。
centrotherm净化风机所放位置
centrotherm净化风机外部
Gas cabinate—centrotherm
Centrotherm气源柜可以分为如下几个功能区：尾气瓶放置区，bubbler放置区，磷源温度和液位监视区，气体控制区，热排，酸排，冷却水供给及净化区。其位置如图所示。
Bubbler放置区
尾气瓶放置区
气体控制柜
Bubbler放置区
冷却水及净化装置
酸排
热排
尾气瓶放置区
酸排
热排
冷却水及净化装置
气体控制柜
尾气瓶放置区和尾气瓶
工艺气体（氧气，大小氮）进气口
Paddle TC
尾气管
炉体位置
热排口
通向酸排
尾气瓶放置区
凝结器
沉淀收集
防漏盘
热排口
Bubbler放置区
进气管
出气管
至排风
至排风
至排风
至炉内
小氮管
Bubbler放置区
源温及液位监控区
内部情况
外部情况
气体控制区
MFC
气动阀
气体冷却水系统
酸排，热排系统
气源柜上的热排
废液收集瓶
气源柜上的酸排
控制及监控系统
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