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奶锄%月钐日C芸冢谝荒杲饷芎笫视帽臼谌ㄊ椤月殄日月玎日湖南学学位论文原创性声明学位论文版权使用授权书大本人郑重声明:所呈交的论文是本人在导师的指导下独立进行研究所取得的研究成果。除了文中特别加以标注引用的内容外,本论文不包含任何其他个人或集体己经发表或撰写的成果作品。对本文的研究做出本学位论文作者完全了解学校有关保留、使用学位论文的规定,同本学位论文属于重要贡献的个人和集体,均已在文中以明确方式标明。本人完全意识到本声明的法律后果由本人承担。作者签名:日期:意学校保留并向国家有关部门或机构送交论文的复印件和电子版,允许论文被查阅和借阅。本人授权湖南大学可以将本学位论文的全部或部分内容编入有关数据库进行检索,可以采用影印、缩印或扫描等复制手段保存和汇编本学位论文。槐C芸凇朐谝陨舷嘤Ψ娇蚰诖颉薄獭导师签名:期:
摘要多晶硅还原炉硅棒表面温度控制对于多晶硅的生产,乃至整个光伏产业的发展有着重要意义。而对于硅棒温度既要保证硅棒表面保持在最反应使硅棒电气结构发生变化,因而目前对硅棒温度的控制多采用开环用基于无模型自适应控制器的结构,通过模糊规则在线修正无模型自适应控制器参数,使温度控制系统既能保证收敛稳定性,又能提高系统对加热电源作为硅棒温度的加热电源,推导出被控对象的三阶时变滞后非电气特性,确定系统为参数大时变,并以此传递函数作为比较选择主控制器的基础。然后,将传统臀弈P妥允视刂破鞣直鹱魑Kū栈控制器和被控对象的参数影响,不能满足硅棒恒温控制的要求。因此,论文根据无模型自适应控制器的参数学习因子和步长序列对系统动态性超调小,动态性能得到提升,稳态性能几乎不变。因此,采用模糊自适应的无模型自适应控制器可以满足硅棒温度控制的要求并在仿真中验证改进的无模型自适应控制器作为主控制器的可行性。另外,论文设计电络通讯说明,接着详细阐述单片机语言实现控制系统算法,并同时设计了佳反应温度,又不要使其波动较大。由于多晶硅生产过程中的气相沉积控制方式,劳动强度大。针对此问题,论文提出了以无模型自适应模糊控制器为主控制器,以为副控制器的双闭环结构的控制系统方法。采于温度控制的动态性能。论文首先阐述了多晶硅还原炉硅棒温度的化学反应机理,选择相控线性传递函数,并对传递函数参数进行部分估计,根据硅棒沉积过程的控制系统的主控器,比较研究控制系统的动稳态性能,用仿真的方法确定传统杂诓问笫北湎低车木窒扌浴6弈P妥允视刂破魉淙对于参数时变系统能保证其稳定性和收敛性,但仿真表明其动态性能受能影响趋势,使用模糊自适应方法,利用误差和误差变化率整定学习因子和步长序列两个参数。仿真表明改进的无模型自适应控制器相较于普通无模型自适应控制器,对于参数时变系统能更快速地收敛到给定值且流、电压和温度采样的实现,介绍了以魑:诵牡目刂葡低秤布结构,对?檠⌒秃突赑瓺蚆技术对系统网:诵牡穆龀宕シ⒌缏贰最后根据系统的硬件设计要求,利用砑晕芐为核心硬件系统进行硬件组态,采用单片机软件程序框架。多晶硅还原炉硅棒温度的无模型自适应模糊控制
关键词:无模型自适应;硅棒温度;模糊控制;参数自整定;工程硕士学位论文
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目录学位论文版权使用授权书...........................⋯......甀第一章绪言...⋯............⋯⋯⋯⋯⋯.......⋯....⋯⋯.⒄...................................⋯.....露瓤刂圃诠谕庋芯糠⒄⒄褂τ茫.:低场本文内容与结构安排⋯⋯..................⋯.............第二章系统机理与模型结构...⋯....⋯⋯.....⋯⋯⋯........化学反应机理⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯...⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯...,ū栈房刂葡低呈P停小结⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯.⋯⋯....⋯⋯.....⋯..第三章无模型自适应控制..⋯....⋯...⋯.......⋯.....⋯...无模型自适应控制.⋯.....⋯......................⋯.⋯...⋯⋯.......⋯..........⋯⋯⋯......⋯.⋯..员豢囟韵蠓抡妫改进.....⋯......⋯..⋯⋯⋯....⋯⋯..........参数停分析研究..................⋯⋯.⋯⋯小结...