文档介绍：东南大学材料科学与工程
实验报告
学生姓名徐佳乐班级学号12011421实验日期 2014/9/3 批改教师
课程名称电子信息材料大型实验批改日期
实验名称台阶仪测试薄膜厚度试验报告成绩
—、实验目的
掌握测试东南大学材料科学与工程
实验报告
学生姓名徐佳乐班级学号12011421实验日期 2014/9/3 批改教师
课程名称电子信息材料大型实验批改日期
实验名称台阶仪测试薄膜厚度试验报告成绩
—、实验目的
掌握测试薄膜厚度原理和方法，了解台阶仪操作技术。
二、实验原理
LVDT 是线性差动变压器的缩写，为机电转换器的一种。利用细探针扫描样品表面，当检测到一个高度差别则探针做上下起伏之变化，此变化在仪器内部的螺旋管线圈内造成磁通量的变化，再有内部电子电路转换成电压信号，进而求出膜厚。LVDT线性位置感应器，可测量的位移量小到几百万分之一英寸到几英寸。
LVDT 的工作原理是由振荡器产生一高频的参考电磁场，并内建一支可动的铁磁主轴以及两组感应线圈，当主轴移动造成强度改变由感应线圈感应出两电压值，想比较后即可推算出移动量。
三、实验内容及步骤
1. 开机步骤：
（1）检查并确保所有连线连接正常。
（2）释放紧急按钮（红色），按箭头指示方向旋转。
（3）开启PROFILER电源（白色，开启时会亮），并热机10分钟。
（4）打开计算机和显示器，并执行桌面程序Dektak Version 9 icon，等候读取大约30秒即可开启软件窗口。
放置样品：
（1）确认Z轴是升起来状态；若没有请按tower up。
（2）将平台拉出，样品放置平台中间处。
（3）将平台移入，粗调平台X-Y轴使样品置于针头之下。
（4）按下tower down下针，针头碰触到样品后会立即回弹上来一小段，此时再微调平台X-Y轴把待测区域移到枕头下。
参数设置：
（1）按 Switch To Scan Routines Window
再点选Scan Parameters任一个参数去设定。
设置扫描参数：
Length 扫描长度，范围50um到50mm
Duration 扫描时间，建议500um至少10秒，以此类推
Measurement Range 测量深度范围，按样品厚度选取
Profile 选取合适的样品表面轮廓：
H i l l s (测量凸起的台阶)
Valleys (测量凹陷的台阶)
Hills and Va l l e y s (有凹有凸) ，默认使用
按下 Run Scan Routine Here icon 即开始测量
扫描结果分析：
扫描完成后可将图形做LEVEL，移动R和M Cursor到要level 的位置，点选或者F7即可。
移动R和M Cursor到要测量的Step Height的位置，按下F12 即可得到ASH的值。
数据保存：
存图片在图片上按鼠标右键 Save as image，
保存原始数据 file Save as， ta
按Export icon ，为记事本形式
四、实验内容
1．实验步骤
放置样品：先取出样品，并用***轻轻擦拭硅片表面，然后将硅片