文档介绍：台阶仪测试薄膜厚度实验一、实验目的:掌握测试薄膜厚度原理和方法,了解台阶仪操作技术。二、实验原理:LVDT是线性差动变压器的缩写,为机电转换器的一种。利用细探针扫描样品表面,当检测到一个高度差别则探针做上下起伏之变化,此变化在仪器内部的螺旋管先圈内造成磁通量的变化,再有内部电子电路转换成电压讯号,进而求出膜厚。LVDT线性位置感应器,可测量的位移量小到几万分之一英寸至几英寸。LVDT的工作原理是由振荡器产生一高频的参考电磁场,并内建一支可动的铁磁主轴以及两组感应线圈,当主轴移动造成强度改变由感应线圈感应出两电压值,相比较后即可推算出移动量。三、操作流程1打开电脑,开台阶仪电源,等待10秒后打开操作软件。2打开台阶仪保护盖,小心放入样品。3点击Engage,观察样品与探针所在位置。4点击Z+将探针升起,将样品调到适当位置。5点击Scan,进行扫描。6分析数据。7点击Z+将探针升到顶端。8取出样品,关闭保护盖。9关闭操作软件,关闭台阶仪电源,关闭电脑。四、注意事项1待测样品要经过严格的送样登记、测试、记录程序,不明样品不得测试。2测试前,用洗耳球吹扫样品表面,把灰尘等东西从样品表面吹扫干净,保证样品的洁净度;吹扫时,洗耳球的尖端不能接触样品表面,防止破坏样品。3接通电源,依次打开电脑开机按钮,显示器按钮,台阶仪电源按钮,要等待一定时间(约10秒)后,待数据信息接通后,将电脑桌面上的操作软件XP打开,不应马上打开软件进行测试。4样品放置时,要保证样品在样品台上平稳放置,放置时要横平竖直,所要测试的台阶的位置靠近探针针尖的垂直位置。5在探针降落到样品表面的过程中,先使用Engage按钮落针,此过程尽量不使用Z-。如探针距离样品很远,Engage使用弹出警告的情况下才使用Z-按钮;具体操作时,点击1-2下Z-键,再使用Engage按钮让探针下落。如果再次出现警告,则再点击Z-按钮,再使用Engage按钮落针,确保针尖安全。6测试时,显示屏幕如果发现针尖位置的表面比较脏,如表面有很多不明的颗粒存在于样品表面,停止测试,待送样者把样品处理干净后再作测试。7断电时,UPS自动启动,此时将探针升到顶端,取