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第卷第期西安交通大学学报。· №
年月·。。
,
水基热分解法制备钛酸铅系薄膜
高禄梅张良莹/姚熹
。—丽院
摘要
广采用水基热分解法在/
细研究了以水为溶剂,特铅盐和铁醇盐等直接加入到溶剂中制成先体溶液,测量溶液
的—曲线和透光率曲线;对薄膜作和分析,并对其结果进行
箱要讨论,测量了室温下薄膜的介电性能和铁电性能.
。法分杰类号:热分解法水墓煞乌。研’范一、
前言雪柄矿型结构
具有钙钛矿型结构的铁电薄膜材料,具有优良的压电、热释电褶铁电性能,因而有着广泛
;高灵敏度的热释电红外探测器阵
列;光波导器件和声表面波器件】.
制备铁电薄膜的方法,有电子束蒸发、溅射、溶胶一凝胶—法、金属有机物热分解法
,它是一种不经
,原料可以是金属有机化台物
即金属原子直接与有机基团中的碳原子成键的化合物,有机金属化合物即金属原子与有机
基团中的氧原子成键的化合物,以及各种有机盐和无机盐等等,但其中至少有一种原料是金
属有机化合物,
泛性,,然后将各
溶液按一定的化学计量比进行混合,形成可以用于制备薄膜的先体溶液,再经过一定的方法将
先体溶液覆在基片上,经过热处理后得到所需晶型和晶粒大小的薄膜.
采用法制备钛酸铅系薄膜时,通常采用下二种方法配制先体溶液:一是先将铅盐
和钛醇盐反应合成铅钛复醇盐,再掺八其它元素配制成先体溶液;另一是将铅盐和钛醇盐以及
其它锆、,选用乙
收到日期——一高禄梅女年月日生,电子材料与器件研究所,助工
国家”高技术新材料研究计划资助项目.
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西安空通大学学撮第卷
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,且钛醇盐极易水解,整个工艺
对温湿度有较高要求,,研究水为溶剂采用
后一种方法配制先体溶液,进而制备薄膜材料.
实验方法
. 原料的选择
水基热分解法制备薄膜时,
下要求“.
①具有高的金属含量,使薄膜在热处理中体积变化尽可能小,防止薄膜开裂和提高单层膜
厚度;
②在选定的溶剂中有高的溶解度,保证制备的先体溶液有较好的稳定性;
③与溶液中的其它化合物相兼容,不发生沉淀;
④在热分解的过程中原料不挥发和熔化;
⑤制备的先体溶液应很稳定,在放置和使用过程中对周围环境不敏感,以保证薄膜的稳定
性和重复性.
根据以上要求,选择· 、· 和。为原料;以冰乙
酸、去离子水和无水乙醇为溶剂.
. 薄膜的制备过程
采用该工艺制备】铁电
薄膜